[发明专利]基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器在审
| 申请号： | 201410439227.6 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104202011A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 鲍景富;李昕熠;王秋苹;黄裕霖 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 绝缘材料 振动 mems 谐振器 | ||
1.基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，其结构包括一个绝缘材料制作的振动块(1)，所述振动块(1)采用四个对角旋转对称分布的支撑锚点(2-1、2-2、2-3和2-4)架空设置在衬底基片上；任意两个支撑锚点之间的振动块(1)的侧面沉积有金属层作为谐振器输入输出端换能电容的一个内电极(3-1、3-2、3-3和3-4)，每个支撑锚点(2-1、2-2、2-3或2-4)表面设置有一个谐振器直流驱动电压输入端(5-1、5-2、5-3或5-4)，每个谐振器直流驱动电压输入端(5-1、5-2、5-3或5-4)与对应谐振器输入输出端换能电容内电极(3-1、3-2、3-3或3-4)电气连接；与每个谐振器输入输出端换能电容内电极(3-1、3-2、3-3或3-4)对应位置的基片表面设置有一个谐振器输入输出端换能电容外电极(4-1、4-2、4-3或4-4)，每个谐振器输入输出端换能电容内电极(3-1、3-2、3-3或3-4)与对应一个谐振器输入输出端换能电容外电极(4-1、4-2、4-3或4-4)形成一个换能电容；所述谐振器还包括四个输入输出端口(7-1、7-2、7-3和7-4)，每个输入输出端口(7-1、7-2、7-3或7-4)各自对应采用一段导电材料(6-1、6-2、6-3或6-4)与对应的谐振器输入输出端换能电容外电极(4-1、4-2、4-3或4-4)电气连接。
2.根据权利要求1所述的基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，其特征在于，所述绝缘材料振动块采用二氧化硅或氮化硅材料制作。
3.根据权利要求1所述的基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，其特征在于，所述绝缘材料振动块的形状为方块状或圆盘状。
4.根据权利要求1所述的基于绝缘材料振动块的MEMS谐振器，其特征在于，所述四个对角旋转对称分布的支撑锚点(2-1、2-2、2-3和2-4)采用二氧化硅或氮化硅材料制作。
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