[发明专利]用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法

摘要

一种用于附着玻璃与掩模的设备，包括掩模支撑单元，用于支撑由金属材料形成的掩模；磁性卡盘，设置于掩模支撑单元上方并产生磁性力以附着至所述掩模，在所述磁性卡盘与所述掩模之间夹置有基板；磁性卡盘上/下驱动单元，连接至所述磁性卡盘并用于上下驱动所述磁性卡盘；以及控制器，用于控制所述磁性卡盘上/下驱动单元的操作，以改变所述磁性卡盘的位置进而防止在所述掩模的返回操作期间由于磁性力的干扰而使所述掩模与所述磁性卡盘相互接触。

主权项

一种用于附着基板与掩模的设备，其特征在于，包括：掩模支撑单元，支撑由金属材料形成的掩模；磁性卡盘，设置于所述掩模支撑单元上方并产生磁性力以附着至所述掩模，在所述磁性卡盘与所述掩模之间夹置有基板；磁性卡盘上/下驱动单元，连接至所述磁性卡盘并上下驱动所述磁性卡盘；以及控制器，控制所述磁性卡盘上/下驱动单元的操作，以改变所述磁性卡盘的位置，进而防止在所述掩模的返回操作期间由于所述磁性力的干扰而使所述掩模与所述磁性卡盘相互接触；其特征在于，所述掩模包括掩模片材，所述掩模片材被形成为多个层形式、支撑所述基板并紧密接触所述基板；呈多个层形式的所述掩模片材包括基板支撑掩模片材，支撑所述基板；其特征在于，在所述基板支撑掩模片材中形成多个孔以进行弯曲；其特征在于，所述多个孔分别具有狭槽形状并沿所述基板支撑掩模片材的边缘顺次排列。