[发明专利]一种在位表面形貌检测工作台

摘要

本发明公开了一种在位表面形貌检测工作台,包括机座和显微镜，机座包括下底板和上框体，上框体为其上端呈开口状的中空框体，上框体以可下底板的前后方向平移滑动的方式架设在下底板的上表面上方，下底板的前侧或后侧设有控制上框体前后滑行的X轴平移驱动装置，上框体的上端端面上架设有可沿上框体左右平移的放置平台，且上框体内设有控制放置平台左右移动的Y轴平移驱动装置，放置平台上竖设有安装立柱，安装立柱上设有可上下移动的安装块，显微镜安装在上述安装块上，安装立柱上安装有控制安装块上下移动的Z轴升降驱动装置。本发明的有益效果其可实现在位和线下测量，适用范围广，并具有整体结构简单、合理、紧凑的特点。

主权项

一种在位表面形貌检测工作台,包括机座和显微镜，其特征在于：上述机座包括下底板和上框体，上述上框体为其上端呈开口状的中空框体，上述上框体以可沿下底板的前后方向平移滑动的方式架设在上述下底板的上表面上方，上述下底板的前侧或后侧设有控制上框体前后滑行的X轴平移驱动装置，上述上框体的上端端面上架设有可沿上框体左右平移的放置平台，且上述上框体内设有控制放置平台左右移动的Y轴平移驱动装置，上述放置平台上竖设有安装立柱，上述安装立柱上设有可上下移动的安装块，上述显微镜安装在上述安装块上，上述安装立柱上安装有控制安装块上下移动的Z轴升降驱动装置；上述X轴平移驱动装置包括X轴步进电机、X轴丝杆和X轴滑块，上述下底板的前侧壁上延伸设有安装凸板，上述X轴步进电机固定安装在上述安装凸板上，且上述X轴步进电机的输出轴朝后设置，上述X轴丝杆平放设置，并沿上述下底板的前后方向延伸，上述安装凸板的上表面固定有丝杆座，上述X轴丝杆的前端活动穿过上述丝杆座的前、后两端，且上述X轴丝杆的前端端部通过电机联轴器与上述X轴步进电机的输出轴连接，上述X轴丝杆的后端端部螺装锁固在上述上框体的前侧面上，上述X轴滑块套装于上述X轴丝杆外，且上述X轴滑块与上述X轴丝杆螺纹配合连接，上述X轴滑块与上述上框体的前侧壁固定连接。