[发明专利]一种在位表面形貌检测工作台

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测工作台，特别涉及一种在位表面形貌检测工作台。

背景技术

精密的形貌检测是现代科技中非常重要的一环，通过检测待测物的结构尺寸或表面形貌的精度以控制产品品质。现用于形貌检测的检测方式较为多样，其中利用光学非接触检测方式的测量技术，能够以非破坏方式取得待测物表面精确的形貌数据，已广泛应用于各种产业中，特别是在位检测待测物。

现有的在位形貌检测系统最为重要的部位是位移工作台，其可进行位移调节的具有操作面的用于直接或间接装夹或放置待测物的广义操作平台。传统的位移工作台大多数是采用两层叠加式结构，即X轴轴向移动的部件和Y轴轴向移动的部件分布在上下两层，此上下叠加式的双层结构使工作台的整体体积较大，结构复杂，从而使在位测量时因空间上的限制而造成位移工作台无法做到实时在位测量，只能将被测物拆卸下来放置在位移工作台上进行检测，给检测带来麻烦。

鉴于上述理由，本发明人对检测工作台的上述缺陷做了深入研究，本案由此产生。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、紧凑，体积小，适用范围广，并能运用于在位实时测量的在位表面形貌检测工作台。

本发明的技术方案是这样的：一种在位表面形貌检测工作台,包括机座和显微镜，上述机座包括下底板和上框体，上述上框体为其上端呈开口状的中空框体，上述上框体可沿下底板的前后方向平移滑动的方式架设在上述下底板的上表面上方，上述下底板的前侧或后侧设有控制上框体前后滑行的X轴平移驱动装置，上述上框体的上端端面上架设有可沿上框体左右平移的放置平台，且上述上框体内设有控制放置平台左右移动的Y轴平移驱动装置，上述放置平台上竖设有安装立柱，上述安装立柱上设有可上下移动的安装块，上述显微镜安装在上述安装块上，上述安装立柱上安装有控制安装块上下移动的Z轴升降驱动装置。

上述下底板的上表面左右两侧分别凸设有沿下底板的前后方向延伸的X轴导轨，上述X轴导轨的上表面上凸设有沿X轴导轨的长度方向延伸的X轴滑轨，上述上框体的左右两外侧壁上设有其一臂与上述上框体固定，另一臂处于上述X轴滑轨上方的L型安装块，且上述L型安装块的另一臂上固设有架设在X轴滑轨上并沿X轴滑轨滑行的X轴导向滑块。

上述X轴平移驱动装置包括X轴步进电机、X轴丝杆和X轴滑块，上述下底板的前侧壁上延伸设有安装凸板，上述X轴步进电机固定安装在上述安装凸板上，且上述X轴步进电机的输出轴朝后设置，上述X轴丝杆平放设置，并沿上述下底板的前后方向延伸，上述安装凸板的上表面固定有丝杆座，上述X轴丝杆的前端活动穿过上述丝杆座的前、后两端，且上述X轴丝杆的前端端部通过电机联轴器与上述X轴步进电机的输出轴连接，上述X轴丝杆的后端端部螺装锁固在上述上框体的前侧面上，上述X轴滑块套装于上述X轴丝杆外，且上述X轴滑块与上述X轴丝杆螺纹配合连接，上述X轴滑块与上述上框体的前侧壁固定连接。

上述X轴滑块包括前侧板、左侧板和右侧板，上述左侧板的前端和上述右侧板的前端分别与上述前侧板的左、右两侧一体成型连接，上述左侧板的后端和上述右侧板的后端分别与上述上框体的前侧壁固定连接。

上述Y轴平移驱动装置包括Y轴步进电机、Y轴丝杆和Y轴滑块，上述Y轴步进电机固定安装在上述上框体的内底面上，上述Y轴步进电机的输出轴朝左或朝右设置，上述Y轴丝杆平放设置，并沿上述上框体的左右方向延伸，上述Y轴丝杆的第一端端部通过电机联轴器与上述Y轴步进电机的输出端连接，上述Y轴丝杆的第二端端部螺装锁固在上述上框体的左侧壁或右侧壁上，上述Y轴滑块套装于上述Y轴丝杆外，且上述Y轴滑块与上述Y轴丝杆螺纹配合连接。

上述上框体前、后两侧的上表面上锁固有沿上述上框体的左右方向延伸的Y轴滑轨，上述Y轴滑轨上套设有沿上述Y轴滑轨滑动的Y轴导向滑块，两上述Y轴导向滑块和上述Y轴滑块均与上述放置平台锁固连接。

上述安装立柱锁固在上述放置平台上，上述Z轴升降驱动装置包括Z轴步进电机和Z轴丝杆，上述Z轴丝杆竖立设置，并沿上述安装立柱的上下方向延伸，且上述Z轴丝杆处于上述安装立柱的左侧壁或右侧壁处，上述安装块上设有套设于上述Z轴丝杆外的Z轴滑块，且上述Z轴滑块与上述Z轴丝杆螺纹配合连接，上述Z轴步进电机安装在上述安装立柱上，并处于上述Z轴丝杆的下方，上述Z轴步进电机的输出轴与上述Z轴丝杆的下端端部连接，上述Z轴丝杆的上端端部与上述安装立柱活动连接。