[发明专利]分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板在审
| 申请号： | 201410413330.3 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104191532A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 谈军;王庆峰;陈远峰 | 申请（专利权）人： | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板，包括挡板本体和防转挂托，所述防转挂托包括带有内圆弧面的开口轴肩和用于与插片本体连接的连接结构，所述内圆弧面的直径与定位槽的上端圆弧段直径相同，且与定位杆的上部外圆表面相配合，防转挂托通过连接结构与插片本体相连接。由于在挡板本体的定位槽侧面上至少增设了一个防转挂托，所述防转挂托上的内圆弧面的直径与定位槽的上端圆弧段直径相同，且与定位杆的上部外圆表面相配合，这样挡板本体沿硅片坍塌方向的自由度被防转挂托消除，因此，在脱胶时能阻止硅片的倾倒坍塌，从而降低硅片破损，提高硅片的脱胶合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 分体 组合式 硅片 脱胶 倒塌 挡板 | ||
【主权项】：
一种分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板，包括挡板本体(1)，在挡板本体(1)的插入端设有插杆槽(11)，在挡板本体(1)的限位端设有进口槽(12)、进程槽(13)和定位槽(14)，其特征是：还包括防转挂托(6)，所述防转挂托(6)包括带有内圆弧面(61)的开口轴肩(62)和用于与挡板本体(1)连接的连接结构(63)，所述内圆弧面(61)的直径与定位槽(14)的上端圆弧段直径相同，且与定位杆(2)的上部外圆表面相配合，防转挂托(6)通过连接结构(63)与定位槽(14)上端的挡板本体(1)相连接，定位槽(14)上端圆弧段与内圆弧面(61)处于同一平面。
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