[发明专利]分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板在审
申请号: | 201410413330.3 | 申请日: | 2014-08-20 |
公开(公告)号: | CN104191532A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 谈军;王庆峰;陈远峰 | 申请(专利权)人: | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分体 组合式 硅片 脱胶 倒塌 挡板 | ||
1.一种分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板,包括挡板本体(1),在挡板本体(1)的插入端设有插杆槽(11),在挡板本体(1)的限位端设有进口槽(12)、进程槽(13)和定位槽(14),其特征是:还包括防转挂托(6),所述防转挂托(6)包括带有内圆弧面(61)的开口轴肩(62)和用于与挡板本体(1)连接的连接结构(63),所述内圆弧面(61)的直径与定位槽(14)的上端圆弧段直径相同,且与定位杆(2)的上部外圆表面相配合,防转挂托(6)通过连接结构(63)与定位槽(14)上端的挡板本体(1)相连接,定位槽(14)上端圆弧段与内圆弧面(61)处于同一平面。
2.根据权利要求1所述分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板,其特征是:所述防转挂托(6)上的连接结构(63)是在带有内圆弧面(61)的开口轴肩(62)的中间设有槽口(65),槽口(65)插入定位槽(14)上端的挡板本体(1)上。
3.根据权利要求1所述分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板,其特征是:所述防转挂托(6)上的连接结构(63)是在带有内圆弧面(61)的开口轴肩(62)的一端设有连接平面(64),连接平面(64)与挡板本体(1)之间通过粘接方式固定连为一体或者通过铆接方式固定连为一体。
4.根据权利要求3所述分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板,其特征是:防转挂托(6)设置在定位槽(14)上端的挡板本体(1)的任一侧面上。
5.根据权利要求3所述分体组合式硅片脱胶防倒塌插片挡板,其特征是:在定位槽(14)上端的挡板本体(1)的两侧面上均设有防转挂托(6)。
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