[发明专利]光学量测装置及方法

摘要

本发明的题目是光学量测装置及方法。一种光学量测装置，包括光源模块、感测单元、参考镜组、光耦合模块以及处理单元。参考镜组的致动器以扫描速度带动参考镜往复移动。光源模块传递第一光线至光耦合模块，光耦合模块将部份第一光线传递至待测物、部份第一光线传递至参考镜组，第一光线被待测物、参考镜组反射后依序传递至光耦合模块及处理单元。光源模块传递第二光线至待测物，第二光线被反射后再传递至感测单元，感测单元传递感测信号给处理单元，据此处理单元提供相对速度值。依据相对速度值与扫描速度，计算厚度。

主权项

一种光学量测装置，其包括：一光源模块，提供一第一光线以及一第二光线；一感测单元；一参考镜组，其包括一致动器以及一参考镜，所述致动器以一扫描速度带动所述参考镜往复移动；一光耦合模块，将所述第一光线传递至所述参考镜组以及一待测物；以及一处理单元；其中，所述光源模块传递所述第一光线至所述光耦合模块，所述光耦合模块将部份所述第一光线传递至所述待测物、部份所述第一光线传递至所述参考镜组，所述第一光线被所述待测物的表面反射后依序传递至所述光耦合模块及所述处理单元，所述第一光线被所述参考镜组反射后依序传递至所述光耦合模块及所述处理单元，其中，所述光源模块传递所述第二光线至所述待测物，所述第二光线被所述待测物的表面反射后传递至所述感测单元，据此所述感测单元传递一感测信号给所述处理单元，所述处理单元依据所述感测信号提供一相对速度值，依据所述相对速度值与所述参考镜组的所述扫描速度，计算所述厚度。