[发明专利]光学量测装置及方法

说明书

技术领域

本发明关于一种光学量测装置以及方法。

背景技术

由于光学量测技术具有非侵入、快速反应等优点，因此常被应用于非接触性的检测。例如可应用于检测眼球内部的构造或是皮肤下层的组织等等。然而，无论是何种光学量测技术，皆会遭遇量测机台、受测物的生理反应、或受测者移动所造成的量测误差的问题。

以采用光学同调断层法的眼角膜量测装置为例，为了避免上述的误差产生的解决的方法有二，其一可透过加快量测扫描时间、使得于量测期间的振动的影响降低的方式。或者，可透过于量测装置中设置两组光源模块，两组光源模块可同时产生两道光束进行光学同调相干，以补正机台与角膜的相对振动。但前者的作法，即便缩短了扫描时间，依然存在机台与待测物的相对运动干扰量测结果的情况，且于量测装置中提高扫描时间亦有技术难度。而后者的光路较复杂，且设置额外的光源模块亦会使得成本增加。

因此，如何将量测过程中机台与受测物的相对运动产生的误差排除或降低的方法及装置为本领域的重要的课题之一。

发明内容

有鉴于上述课题，本发明的目的为提供一种修正光学量测的光学量测装置以及方法，进一步而言，透过本发明装置以及方法可以降低量测过程的误差。

为达上述目的，本发明提供一种光学量测装置，其包括光源模块、感测单元、参考镜组、光耦合模块以及处理单元。

光源模块提供第一光线以及第二光线。参考镜组其包括致动器以及参考镜，致动器以扫描速度带动参考镜往复移动。光耦合模块将第一光线传递至参考镜组以及待测物。

光源模块传递第一光线至光耦合模块，光耦合模块将部份第一光线传递至待测物、部份第一光线传递至参考镜组，第一光线被待测物的表面反射后依序传递至光耦合模块及处理单元，第一光线被参考镜组反射后依序传递至光耦合模块及处理单元。

光源模块传递第二光线至待测物，第二光线被待测物的表面反射后传递至感测单元，据此感测单元传递感测信号给处理单元，处理单元依据感测信号提供相对速度值。依据相对速度值与参考镜组的扫描速度，计算厚度。

在本发明一实施例中，厚度由扫描速度与相对速度值相加后除以待测物折射率的积分所产生。

在本发明一实施例中，处理单元利用以下的公式计算厚度：

L=∫0TVr+Vsndt]]>

其中，V_r是扫描速度，V_S为相对速度值，n为待测物折射率。

在本发明一实施例中，处理单元利用以下的公式计算厚度L：

L=∫0TVrn*{1+((1+β1-β)-1)/n}dtβ=n*VsVr]]>