[发明专利]一种转移石墨烯的方法及由该方法得到的石墨烯薄膜有效

专利信息
申请号: 201410401623.X 申请日: 2014-08-14
公开(公告)号: CN104192832B 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 金虎;娄晓静;彭鹏;武文鑫 申请(专利权)人: 常州二维碳素科技股份有限公司
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司11429 代理人: 徐琳淞
地址: 213000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种转移石墨烯的方法及由该方法得到的石墨烯薄膜,该方法利用双面胶膜将生长在生长基底上的石墨烯转移到目标衬底上。本发明利用很薄的双面胶膜滚压贴合长有石墨烯膜的生长基底,经腐蚀、剥离等方法去除生长基底,再在石墨烯面附膜,另一面贴合目标衬底的方法实现石墨烯从生长基底到目标衬底的转移,工艺简单,能极大地降低转移石墨烯的成本,利用双面胶的黏性,得到与目标衬底结合力好的石墨烯膜,提高了石墨烯和目标衬底的结合力,可以得到完整无缺陷的高质量的石墨烯膜。
搜索关键词: 一种 转移 石墨 方法 得到 薄膜
【主权项】:
一种转移石墨烯的方法,其特征在于:利用双面胶膜将生长在生长基底(4)上的石墨烯(5)转移到目标衬底(7)上,包括以下步骤:步骤一:将双面胶膜的上离型膜(1)撕掉,留下双面胶膜体(2)和下离型膜(3);步骤二:准备生长有石墨烯(5)的生长基底(4),与步骤一处理后的双面胶膜贴合,石墨烯(5)贴合在双面胶膜体(2)上;步骤三:去除生长基底(4);步骤四:在石墨烯(5)上贴合一层保护膜(6);步骤五:将双面胶膜体(2)的下离型膜(3)撕掉,将带有保护膜(6)的石墨烯(5)和双面胶膜体(2)贴合在目标衬底(7)上;步骤六:撕掉保护膜(6),完成石墨烯(5)由生长基底(4)到目标衬底(7)的转移。
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