[发明专利]一种转移石墨烯的方法及由该方法得到的石墨烯薄膜有效
申请号: | 201410401623.X | 申请日: | 2014-08-14 |
公开(公告)号: | CN104192832B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 金虎;娄晓静;彭鹏;武文鑫 | 申请(专利权)人: | 常州二维碳素科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司11429 | 代理人: | 徐琳淞 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 石墨 方法 得到 薄膜 | ||
1.一种转移石墨烯的方法,其特征在于:利用双面胶膜将生长在生长基底(4)上的石墨烯(5)转移到目标衬底(7)上。
2.根据权利要求1所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤一:将双面胶膜的上离型膜(1)撕掉,留下双面胶膜体(2)和下离型膜(3);
步骤二:准备生长有石墨烯(5)的生长基体(4),与步骤一处理后的双面胶膜贴合,石墨烯(5)贴合在双面胶膜体(2)上;
步骤三:去除生长基体(4);
步骤四:在石墨烯(5)上贴合一层保护膜(6);
步骤五:将双面胶膜体(2)的下离型膜(3)撕掉,将带有保护膜(6)的石墨烯(5)和双面胶膜体(2)贴合在目标衬底(7)上;
步骤六:撕掉保护膜(6),完成石墨烯(5)由生长基底(4)到目标衬底(7)的转移。
3.根据权利要求1所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤一:将双面胶膜的上离型膜(1)撕掉,留下双面胶膜体(2)和下离型膜(3);
步骤二:准备生长有石墨烯(5)的生长基体(4),与步骤一处理后的双面胶膜贴合,石墨烯(5)贴合在双面胶膜体(2)上;
步骤三:去除生长基体(4);
步骤四:准备生长有石墨烯(5)的生长基底(4),将本步骤中的石墨烯(5)与步骤三中的石墨烯(5)贴合;再去除生长基体(4);根据所需转移的石墨烯的层数,循环本步骤;
步骤五:在位于最上层的石墨烯(5)上贴合一层保护膜(6);
步骤六:将双面胶膜体(2)的下离型膜(3)撕掉,将带有保护膜(6)的石墨烯(5)和双面胶膜体(2)贴合在目标衬底(7)上;
步骤七:撕掉保护膜(6),完成石墨烯(5)由生长基底(4)到目标衬底(7)的转移。
4.根据权利要求2或3所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于:所述的贴合为滚压贴合。
5.根据权利要求2或3所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于:所述的去除生长基体(4)的方法为化学腐蚀法或者电解剥离法。
6.根据权利要求2或3所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于:所述保护膜为PE膜或PET膜或离型膜或静电保护膜。
7.根据权利要求2或3所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于:所述双面胶膜体(2)包括基膜(21)、复合在基膜(21)上面的上胶层(22)和复合在基膜(21)下面的下胶层(23);上胶层(22)和下胶层(23)均为硅胶或丙烯酸胶或PET胶,厚度相同或者不相同,范围均为2~50um,黏度范围为1~500g;基膜(21)为PET膜或者PE膜,厚度为1~180um。
8.根据权利要求7所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于:所述上胶层(22)的黏度小于下胶层(23)的黏度;所述下胶层(23)的黏度为10~450g;上胶层(22)的黏度为1~100g。
9.根据权利要求2或3所述的一种转移石墨烯的方法,其特征在于:所述上离型膜(1)为PET离型膜或PE离型膜或OPP离型膜或BOPET离型膜或BOPP离型膜,厚度为25~180um;所述下离型膜(3)为PET离型膜或PE离型膜或OPP离型膜或BOPET离型膜或BOPP离型膜,厚度为50~180um。
10.一种石墨烯薄膜,其特征在于:依次为石墨烯(5)、双面胶膜体(2)和目标衬底(7);双面胶膜体(2)包括基膜(21)、复合在基膜(21)上面的上胶层(22)和复合在基膜(21)下面的下胶层(23);上胶层(22)和下胶层(23)厚度相同或者不同,厚度范围为2~50um,黏度相同或者不同,黏度范围为1~500g;基膜(21)厚度为1~180um。
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