[发明专利]从光致抗蚀剂高沸点剥离废液回收1-哌嗪乙醇的装置以及方法

摘要

本发明涉及从光致抗蚀剂高沸点剥离废液回收1-哌嗪乙醇的装置和方法，即，在从光致抗蚀剂高沸点剥离废液中以高纯度电子级再生作为高沸点剥离溶剂的HEP的过程中，能以回收的HEP的再生收率为50％以上的高回收率进行大量回收。在投入再生工序之前将光致抗蚀剂高沸点剥离废液的水分含量比率调节为能抑制所述热分解诱发副产物的生成的水准，通过在再沸器的温度为65℃的条件下进行1次蒸馏而除去低沸点杂质的步骤，使在以后的再生工序中产生的HEP热分解度最小化，从而能更容易地使HEP的再生收率增加或提高，此外，能够对为了执行该方法而供给到1次蒸馏装置以及与其连接的原料供给罐的高沸点剥离废液的水分含量比率进行有效地控制。

主权项

一种从光致抗蚀剂高沸点剥离废液回收1‑哌嗪乙醇的装置，包括工程废液水分调节装置，通过对包括作为高沸点剥离溶剂的1‑哌嗪乙醇的光致抗蚀剂高沸点剥离废液进行1次蒸馏而除去低沸点杂质的1次蒸馏装置，对供给光致抗蚀剂高沸点剥离废液的原料供给罐传送调节了水分含量比率的光致抗蚀剂高沸点剥离废液，所述从光致抗蚀剂高沸点剥离废液回收1‑哌嗪乙醇的装置的特征在于，所述工程废液水分调节装置包括：异丙醇供给罐，供给异丙醇；搅拌混合罐，通过搅拌机对从所述异丙醇供给罐供给的异丙醇和从LCD以及半导体元件的制造工厂排出的光致抗蚀剂高沸点剥离废液进行混合；流量控制阀以及传送泵，为了进行异丙醇供给而分别设置在异丙醇供给罐与搅拌混合罐之间的管线上以及搅拌混合罐与原料供给罐之间的管线上；水分含量测量器，测量从所述搅拌混合罐排出的光致抗蚀剂高沸点剥离废液中的水分含量；以及控制器，根据在所述水分含量测量器中测量的水分含量控制流量控制阀与传送泵的动作，当在所述水分含量测量器中测量的光致抗蚀剂高沸点剥离废液中的水分含量达到9.7～10.3质量％或14.8～15.2质量％时，使光致抗蚀剂高沸点剥离废液从搅拌混合罐传送到原料供给罐，所述1次蒸馏装置将再沸器的温度和压力设定为62～67℃和75～85托进行运行。