[发明专利]低能大流强材料辐照装置

摘要

本发明公开了一种低能大流强材料辐照装置，其技术方案的要点是它包括送气系统、气压监测装置2、等离子体产生系统、样品台13、激光加热系统6、测温系统9、真空抽气系统5、水冷循环系统4和供电系统。利用本发明对材料表面进行处理，可以有效地模拟核聚变堆的辐照环境进而研究辐照后材料的特性、结构以及功能的变化。

主权项

一种低能大流强材料辐照装置，其特征在于：包括送气系统、气压监测装置(2)、等离子体产生系统、样品台(13)、激光加热系统(6)、测温系统(9)、真空抽气系统(5)、水冷循环系统(4)和供电系统；所述的送气系统是由气源(1)和数字DIP控制系统(3)组成；所述的等离子体产生系统包括法拉第水冷屏(14)、高纯石英桶(12)、RF外置天线(11)、聚四氟保护壳(10)、栅极抑制磁铁(15)和离子引出系统；高纯石英桶(12)为圆形空筒置于水平向，桶内沿桶壁设置有法拉第水冷屏(14)；RF外置天线(11)环绕在高纯石英桶(12)的外壁，聚四氟保护壳(10)环绕在高纯石英桶(12)置于RF外置天线(11)外侧；栅极抑制磁铁(15)置于高纯石英桶(12)的左侧；高纯石英桶(12)的右侧连接离子引出系统；所述的栅极抑制磁铁(15)是由背栅极法兰、永久磁铁和法兰盖组成，背栅极法兰为圆盘形，径向沿圆周有十道凹槽，其中五道镶嵌永久磁铁，另外五道为冷却水道，永久磁铁和冷却水道沿径向由内到外间隔设置，背栅极法兰中心部设有进气孔和气压检测孔，法兰盖封盖在背栅极法兰上；冷却水道与所述的水冷循环系统(4)连接形成循环系统；所述送气系统的气源(1)与进气孔连接；所述的气压监测装置(2)与气压检测孔连接；所述的RF外置天线(11)为空心无氧铜管盘旋制作，与所述的水冷循环系统(4)连接形成循环系统；所述的离子引出系统为钼圆板制成，其上阵列式布满圆孔，所述的离子引出系统外接负偏压电源；所述的真空抽气系统(5)与所述的离子引出系统连接；所述的样品台(13)安装在真空抽气系统(5)内，且穿过离子引出系统的中心孔由高纯石英桶(12)的右侧伸入高纯石英桶(12)内；所述的激光加热系统(6)用于加热所述的样品台(13)上的样品，所述的测温系统用于实时监测样品台的温度；所述的气源(1)由所述的数字DIP控制系统(3)控制通过所述的栅极抑制磁铁(14)进入高纯石英桶(12)内；所述的气压监测装置(2)安装在栅极抑制磁铁(14)用于监测所述的等离子体产生系统的压力；所述的供电系统包括射频电源(7)和负偏压电源(8)。