[发明专利]低能大流强材料辐照装置

权利要求书

1.一种低能大流强材料辐照装置，其特征在于：包括送气系统、气压监测装置2、等离子体产生系统、样品台13、激光加热系统6、测温系统9、真空抽气系统5、水冷循环系统4和供电系统；

所述的送气系统是由气源1和数字DIP控制系统3组成；

所述的等离子体产生系统包括法拉第水冷屏14、高纯石英桶12、RF外置天线11、聚四氟保护壳10、栅极抑制磁铁15和离子引出系统；高纯石英桶12为圆形空筒置于水平向，桶内沿桶壁设置有法拉第水冷屏14；RF外置天线11环绕在高纯石英桶12的外壁，聚四氟保护壳10环绕在高纯石英桶12置于RF外置天线11外侧；栅极抑制磁铁15置于高纯石英桶12的左侧；高纯石英桶12的右侧连接离子引出系统；

所述的栅极抑制磁铁15是由背栅极法兰、永久磁铁和法兰盖组成，背栅极法兰为圆盘形，径向沿圆周有十道凹槽，其中五道镶嵌永久磁铁，另外五道为冷却水道，永久磁铁和冷却水道沿径向由内到外间隔设置，背栅极法兰中心部设有进气孔和气压检测孔，法兰盖封盖在背栅极法兰上；冷却水道与所述的水冷循环系统4连接形成循环系统；所述送气系统的气源1与进气孔连接；所述的气压监测装置2与气压检测孔连接；

所述的RF外置天线11为空心无氧铜管盘旋制作，与所述的水冷循环系统4连接形成循环系统；

所述的离子引出系统为钼圆板制成，其上阵列式布满圆孔，所述的离子引出系统外接负偏压电源；

所述的真空抽气系统5与所述的离子引出系统连接；

所述的样品台13安装在真空抽气系统5内，且穿过离子引出系统的中心孔由高纯石英桶12的右侧伸入高纯石英桶12内；所述的激光加热系统6用于加热所述的样品台13上的样品，所述的测温系统用于实时监测样品台的温度；

所述的气源1由所述的数字DIP控制系统3控制通过所述的栅极抑制磁铁14进入高纯石英桶12内；

所述的气压监测装置2安装在栅极抑制磁铁14用于监测所述的等离子体产生系统的压力；

所述的供电系统包括射频电源7和负偏压电源8。