[发明专利]一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法有效
| 申请号： | 201410374370.1 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104198159B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 巩岩;李晶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 刘慧宇 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法，属于光学检测领域，为了克服大数值孔径物镜波前检测中需要大数值孔径高精度准直镜的困难，同时提高光能利用率和检测精度，多模光纤位于照明显微物镜的物面上，散射器放置在照明显微物镜像平面上，激光光源依次经过多模光纤、照明显微物镜和散射器产生理想球面波；将待测大数值孔径物镜的物像面颠倒放置，沿光轴放置在距散射器像方工作距处，准直镜沿光轴放置，其前焦面与大数值孔径物镜物的工作物平面重合；微透镜阵列位置与大数值孔径物镜的出瞳相对准直镜共轭，光强传感器放置在微透镜阵列焦平面处；在标定系统误差时，将空间滤波器放置在准直镜的前焦面处。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数值孔径 物镜 波像差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种大数值孔径物镜波像差检测装置，包括激光光源(201)、多模光纤(202)，还包括同轴放置的照明显微物镜(203)、散射器(204)、大数值孔径物镜(205)、准直镜(206)、空间滤波器(207)、微透镜阵列(101)和光强传感器(102)，其特征在于，多模光纤(202)的出射端位于照明显微物镜(203)的物面上，散射器(204)放置在照明显微物镜(203)像平面上，激光光源(201)依次经过多模光纤(202)、照明显微物镜(203)和散射器(204)产生理想球面波；将待测大数值孔径物镜(205)的物像面颠倒放置，沿光轴放置在距散射器(204)像方工作距处，准直镜(206)沿光轴放置，其前焦面与大数值孔径物镜物(205)的工作物平面重合；微透镜阵列(101)位置与大数值孔径物镜(205)的出瞳C相对准直镜(206)共轭，光强传感器(102)放置在微透镜阵列(101)焦平面处；在标定系统误差时，将空间滤波器(207)放置在准直镜(206)的前焦面处。
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