[发明专利]一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法，属于光学检测领域。

技术背景

随着物镜光学系统分辨率提高，对测量和修正系统中的像差提出了更高的要求，传统几何像差、光学传递函数和点扩散函数等已经无法满足高分辨率物镜光学系统像差描述的需求，波像差成为评价高分辨率物镜光学系统成像质量更严格的评价手段。根据分辨率公式R＝k₁λ/NA可知，高分辨率物镜将向数值孔径(NA)增大的方向发展。对于放大倍率小于1的大数值孔径物镜，系统像方数值孔径大于物方数值孔径，且接近于1，导致检测其像方波像差时的成本和难度增加。

目前主流的大数值孔径物镜波像差检测仪器可主要有干涉仪和哈特曼-夏克传感器两大类。专利文件EP1079223A1公开了一种使用哈特曼-夏克传感器作为波前检测装置的检测方法，采用斜率测量原理重构出待测波前，实现了光刻投影物镜波像差的实时检测。哈特曼-夏克传感器作为波前检测装置的检测原理如图1所示，由微透镜阵列和位于其焦平面的光强传感器组成，利用测量变形波前在像面的相对位移获得波前斜率，重构出待测波前。由于哈特曼-夏克传感器只适用于检测平面波前或数值孔径极小的波前，因此在被检光刻投影物镜与哈特曼-夏克传感器之间需要放置一个高精度准直镜。随着分辨率的提高，光刻投影物镜的数值孔径逐渐增大，由于光刻投影物镜放大倍率小于1，系统像方数值孔径大于物方数值孔径且逐渐接近于1，检测像方波像差会导致所需准直镜数值孔径也将随之增大，这使得准直镜设计和加工难度将大大增加。此外，斜率重构波前利用了近似：sin(θ)≈tan(θ)≈θ,同时没能充分利用微透镜子孔径内部的光强信息，降低了待测波前的重构精度。

专利文件US7333216B2公开了一种利用多种周期排列的分光装置分割投影物镜待测波前的检测方法，利用分光后的干涉图样获得被测物镜的波像差信息；专利文件US7956987公开了一种包含偏振控制器和多种波前分割器的检测装置，测量分划板有小孔和狭缝两种，波前分割器有正交衍射光栅、两片正交排布的光栅以及半透半反基底多种形式。但这一系列干涉分光结构的光能利用率较低，且在分光前均需要高精度大数值孔径的准直镜，设计和加工难度很高。

发明内容

为了克服大数值孔径物镜波前检测中需要大数值孔径高精度准直镜的困难，同时提高光能利用率和检测精度，本发明提出一种大数值孔径物镜的波前检测装置及方法。

一种大数值孔径物镜波像差检测装置，包括：激光光源、多模光纤，还包括同轴放置的照明显微物镜、散射器、大数值孔径物镜、空间滤波器、准直镜、微透镜阵列和光强传感器，其特征在于，

多模光纤位于照明显微物镜的物面上，散射器放置在照明显微物镜像平面上，激光光源依次经过多模光纤、照明显微物镜和散射器产生理想球面波；将待测大数值孔径物镜的物像面颠倒放置，沿光轴放置在距散射器像方工作距处，准直镜沿光轴放置，其前焦面与大数值孔径物镜物的工作物平面重合；微透镜阵列位置与大数值孔径物镜的出瞳相对准直镜共轭，光强传感器放置在微透镜阵列焦平面处；在标定系统误差时，将空间滤波器放置在准直镜的前焦面处。

一种大数值孔径物镜波像差检测方法，其特征是，包括以下步骤：

步骤1、搭建照明系统，使激光光源发出的光束经过多模光纤照射在照明显微物镜的物面上，经过散射器产生理想球面波；

步骤2、将大数值孔径物镜物像面倒置，放置在距散射器像方工作距处，理想球面波由像面入射大数值孔径物镜，物方出射的波前被准直镜准直；

步骤3、利用光强传感器依次获取被测波前在放置与不放置微透镜阵列时的光强分布，运用相位恢复算法得到包含系统误差的被测波前的波像差W₀＝Φ₀(x₁,y₁)；

步骤4、对系统误差进行标定，将空间滤波器置于大数值孔径物镜的物平面上，产生理想球面波前，重复步骤3，得到系统误差W’；