[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201410369570.8 | 申请日: | 2014-07-30 |
公开(公告)号: | CN104916688B | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 河野洋志;野田隆夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种实现小型化和低成本化的半导体装置。实施方式的半导体装置具备第1电极;第2电极;在上述第1电极和上述第2电极之间设置的第1导电型的第1半导体区域;在上述第1半导体区域和上述第2电极之间设置的第2导电型的第2半导体区域;在上述第2半导体区域和上述第2电极之间设置、与上述第1半导体区域相比杂质浓度更高的第1导电型的第3半导体区域;经由绝缘膜而与上述第3半导体区域、上述第2半导体区域以及上述第1半导体区域相接的第3电极;在上述第1半导体区域和上述第2电极之间设置的第2导电型的第4半导体区域;以及在上述第4半导体区域和上述第2电极之间设置、与上述第1半导体区域相比杂质浓度更高的第1导电型的第5半导体区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,具备:第1电极;第2电极;第1导电型的第1半导体区域,设置在上述第1电极和上述第2电极之间;第2导电型的第2半导体区域,设置在上述第1半导体区域和上述第2电极之间;第1导电型的第3半导体区域,设置在上述第2半导体区域和上述第2电极之间,与上述第2电极相接,杂质浓度高于上述第1半导体区域;第3电极,经由绝缘膜而与上述第3半导体区域、上述第2半导体区域以及上述第1半导体区域相接;第2导电型的第4半导体区域,设置在上述第1半导体区域和上述第2电极之间,与上述第2半导体区域邻接,具有第1部分和杂质浓度比上述第1部分高的第2部分;以及第1导电型的第5半导体区域,设置在上述第1部分和上述第2电极之间,与上述第2电极相接,杂质浓度高于上述第1半导体区域。
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