[发明专利]钼钠管型靶材及其制造方法和钼钠靶材在审
| 申请号： | 201410360172.X | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104087903A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王铁军;张凤戈;唐培新;姚伟;杨本润;姜海;陈锦;穆健刚;孟博 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F5/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李景辉 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钼钠管型靶材及其制造方法和钼钠靶材。其中，钼钠靶材，包含钼、钠两种金属元素，所述钼钠靶材的横截面上的微观结构中，存在富钠相的孤岛，其中，各孤岛的最大面积不大于1mm2。钼钠管型靶材的制造方法主要包括：混粉、压块、氢气烧结、热等静压处理、机械加工成品的工序制备出高纯度、高致密度钼钠管型靶材。本发明生产的磁控溅射钼钠管型靶材，成本低，靶材纯度高，密度高，成品尺寸大。 | ||
| 搜索关键词： | 钼钠管型靶材 及其 制造 方法 钼钠靶材 | ||
【主权项】：
一种钼钠靶材，包含钼、钠两种金属元素，其特征在于，所述钼钠靶材的横截面上的微观结构中，存在富钠相的孤岛，其中，各孤岛的最大面积不大于1mm2。
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