[发明专利]钼钠管型靶材及其制造方法和钼钠靶材

权利要求书

1.一种钼钠靶材，包含钼、钠两种金属元素，其特征在于，所述钼钠靶材的横截面上的微观结构中，存在富钠相的孤岛，其中，各孤岛的最大面积不大于1mm²。

2.如权利要求1所述的钼钠靶材，其特征在于，钠元素含量为1wt％～5wt％，富钼相的平均晶粒尺寸不大于200μm。

3.一种钼钠管型靶材的制造方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤A，混粉：将钼粉与钠源粉按比例称量后，用三维混料机混合均匀，其中钠元素的质量分数为1wt％～5wt％；

步骤B，压块：将混合均匀的粉料通过压块形成管坯；

步骤C，氢气烧结：将管坯在流动氢气气氛烧结炉内进行还原烧结；

步骤D，将氢气烧结后的管坯进行整形，达到目标尺寸；

步骤E，用不锈钢板、碳钢板或钛板作为包套材料，将整形后的管坯进行包套，将所述管坯的内壁、外壁以及两端包裹起来；

步骤F，将包套的管坯在热等静压炉内进行热等静压致密化处；

步骤G，将热等静压致密化处理后管坯进行机加工，使管坯达到设定的尺寸以及表面粗糙度。

4.如权利要求3所述的钼钠管型靶材的制造方法，其特征在于，所述钠源为氟化钠、碳酸钠、碳酸氢钠、硝酸钠或钼酸钠。

5.如权利要求3所述的钼钠管型靶材的制造方法，其特征在于，所述步骤F具体为：将经过整形的管坯装入包套，然后放入脱气炉中，边加热边脱气，真空度达到1×10^-2Pa后，用焊机将包套封焊。

6.如权利要求3所述的钼钠管型靶材的制造方法，其特征在于，整形加工后的管坯尺寸为180mm×250mm×35mm，表面粗糙度不大于Ra12.5，包套的材料为1.5mm厚的不锈钢板、碳钢板或钛板，包套的尺寸为182mm×252mm×36mm，任意一侧包套内壁跟与之相邻的管坯之间的间隙不大于1.5mm。

7.如权利要求5所述的钼钠管型靶材的制造方法，其特征在于，所述脱气温度400℃～600℃，所述焊机为氩弧焊机或等离子焊机。

8.如权利要求5所述的钼钠管型靶材的制造方法，其特征在于，步骤G中，所述热等静压过程的压力为150MPa～190MPa，温度为700℃～1500℃，时间为3h～5h。

9.如权利要求3所述的钼钠管型靶材的制作方法，其特征在于，还包括：于所述钼钠管型靶材的内壁表面上添加高分子保护膜的步骤，所述高分子保护膜经由喷涂或涂抹的方式添加至所述钼钠管型靶材的内壁表面上。

10.一种钼钠管型靶材，其特征在于，所述钼钠管型靶材包含钼、钠两种金属元素，其中钠元素含量为1wt％～5wt％。

11.如权利要求10所述的钼钠管型靶材，其特征在于，所述钼钠管型靶材的纯度大于99.9％，密度大于90％。