[发明专利]三维微纳结构、检测装置和检测方法在审
| 申请号： | 201410350476.8 | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105445250A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 黄成军;罗军;赵超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;B82B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维微纳结构、检测装置和检测方法。一示例三维微纳结构可以包括：衬底；在衬底上形成的单元结构的阵列；以及设于阵列中至少一部分单元结构的表面上的微纳结构和/或颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 结构 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种三维结构，包括：衬底；在衬底上形成的单元结构的阵列；以及设于阵列中至少一部分单元结构的表面上的微纳结构和/或颗粒。
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