[发明专利]三维微纳结构、检测装置和检测方法

权利要求书

1.一种三维结构，包括：

衬底；

在衬底上形成的单元结构的阵列；以及

设于阵列中至少一部分单元结构的表面上的微纳结构和/或颗粒。

2.根据权利要求1所述的三维结构，其中，所述单元结构呈实质上柱状。

3.根据权利要求2所述的三维结构，其中，所述单元结构的直径为约1μm-50μm，高度为约1μm-50μm，相邻单元结构之间的间隙为约0.5μm-25μm。

4.根据权利要求1所述的三维结构，其中，衬底包括硅衬底，所述单元结构包括硅结构。

5.根据权利要求1所述的三维结构，其中，所述微纳结构和/或颗粒由金属材料制成。

6.根据权利要求5所述的三维结构，其中，所述金属材料包括贵金属。

7.根据权利要求1所述的三维结构，其中，所述微纳结构和/或颗粒的直径为约1nm-500nm。

8.根据权利要求1所述的三维结构，其中，所述微纳结构和/或颗粒在表面上大致均匀分布。

9.根据权利要求1所述的三维结构，还包括：在衬底上形成的通道，其中所述阵列形成于所述通道中。

10.根据权利要求9所述的三维结构，其中，所述阵列被配置为增强通道内的毛细作用。

11.根据权利要求1所述的三维结构，其中，所述微纳结构和/或颗粒被配置为实现局域表面等离子共振“LSPR”和/或表面增强拉曼散射“SERS”。

12.一种检测装置，包括根据权利要求1-10中任一项所述的三维结构。

13.根据权利要求12所述的检测装置，其中，所述检测装置被配置为在液体样品经过所述三维结构后针对所述三维结构检测局域表面等离子共振“LSPR”光谱和/或表面增强拉曼散射“SERS”光谱。

14.一种对样品进行检测的方法，包括：

使样品流经表面被结构化从而具有增强表面积的装置，所述结构化的表面上设有微纳结构和/或颗粒；

针对所述装置探测局域表面等离子共振“LSPR”光谱和/或表面增强拉曼散射“SERS”光谱。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述微纳结构和/或颗粒包括贵金属。

16.根据权利要求14所述的方法，其中，样品在流经装置时，样品中所含的部分微粒被所述微纳结构和/或颗粒吸附。