[发明专利]一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法

摘要

本发明公开了一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法。为了解决现有的紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性设备中存在的工艺时间过长，设备自动化程度不高的问题，所述表面清洗与氧化改性设备主要由上下料传送系统、预热腔、工艺腔、冷却腔、真空系统、紫外光光源系统、自动控制与监测系统组成。上下料传送系统采用链轮和链条带动滚轴，滚轴带动轴上小滚球转动的传动方式；预热腔、工艺腔与冷却腔紧凑连接，和上下料传送系统构成连续型结构；真空系统采用两个真空泵来快速地保持各腔室的真空环境。本发明样品清洗和氧化改性效果好，设备安全可靠，操作简单，自动化程度高，极大的提高了生产的质量和效率。

主权项

一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备的使用方法，所述连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备包括工艺腔（3），以及设置在工艺腔（3）内的紫外光光源系统（5），其特征在于， 还包括预热腔（2）、冷却腔（4）；所述预热腔（2）和冷却腔（4）壁面上开有保护气入口（14,16），所述工艺腔（3）壁面上开有氧气进气口（15）；所述工艺腔（3）设置在预热腔（2）和冷却腔（4）之间并通过第一腔室门（11）和第二腔室门（12）隔开，所述预热腔（2）进料口设有进料口腔室门（10），所述冷却腔（4）的出料口设有出料口腔室门（13）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）内以及预热腔（2）的进料口（8）和冷却腔（4）的出料口（9）处均设有可将被处理样品按需要从预热腔（2）的进料口（8）传送至冷却腔（4）的出料口（9）的上下料传送系统（1）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）通过管道和阀门与真空系统相连；所述预热腔（2）、工艺腔（3）内设有加热系统；所述连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备的使用方法包括如下步骤：步骤1：打开设备电源，做好设备运行前准备工作；步骤2：打开进料口腔室门（10），将第一组样品通过上下料传送系统（1）送入预热腔（2），关闭进料口腔室门（10），对预热腔（2）进行预抽真空和并对第一组样品进行预加热，同时对工艺腔（3）进行抽真空；步骤3：当预热腔（2）和工艺腔（3）气压平衡时，打开预热腔（2）和工艺腔（3）之间的第一腔室门（11），将第一组样品通过上下料传送系统（1）送入工艺腔（3），然后关闭预热腔（2）和工艺腔（3）之间的第一腔室门（11）；步骤4：继续对工艺腔（3）抽真空，待抽真空结束后，向工艺腔（3）内充入氧气，开启紫外光光源系统，对第一组样品表面进行清洗与氧化改性；步骤5：在步骤4进行的同时，对预热腔（2）进行破真空处理，然后打开进料口腔室门（10），将下一组样品送入预热腔（2），进行预热和预抽真空，同时开始对冷却腔（4）抽真空；步骤6：第一组样品反应完成后，打开工艺腔（3）与冷却腔（4）之间的第二腔室门（12），通过上下料传送系统（1）将第一组样品送入冷却腔（4）后，关闭工艺腔（3）与冷却腔（4）之间的第二腔室门（12），在冷却腔（4）内通入保护气体对第一组样品进行冷却和破真空，完成后，打开出料口腔室门（13），将第一组样品送出冷却腔（4），完成对第一组样品的加工；步骤7：将第一组样品从工艺腔（3）送入冷却腔（4）后，再打开预热腔（2）和工艺腔（3）之间的第一腔室门（11），将下一组样品送入工艺腔（3），然后关闭该预热腔（2）和工艺腔（3）之间的第一腔室门（11），重复步骤4到步骤7；步骤8：结束生产任务时，等待设备中最后一组样品加工完成后，关闭系统电源。