[发明专利]一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法有效
| 申请号： | 201410330437.1 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104167381B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 谢振勇;成秋云;吴得轶;李晔纯;周顺峰 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司43113 | 代理人： | 马强,李发军 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 连续 真空 紫外光 臭氧 表面 清洗 氧化 改性 设备 及其 使用方法 | ||
1.一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，包括工艺腔（3），以及设置在工艺腔（3）内的紫外光光源系统（5），其特征在于， 还包括预热腔（2）、冷却腔（4）；所述预热腔（2）和冷却腔（4）壁面上开有保护气入口（14,16），所述工艺腔（3）壁面上开有氧气进气口（15）；所述工艺腔（3）设置在预热腔（2）和冷却腔（4）之间并通过腔室门（11,12）隔开，所述预热腔（2）进料口和冷却腔（4）的出料口也设有相应的腔室门（10,13）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）内以及预热腔（2）的进料口（8）和冷却腔（4）的出料口（9）处均设有可将被处理样品按需要从预热腔（2）进料口（8）传送至冷却腔（4）出料口（9）的上下料传送系统（1）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）通过管道和阀门与真空系统（6,17）相连；所述预热腔（2）、工艺腔（3）内设有加热系统。
2.根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述工艺腔（3）内安装有真空传感器、温度传感器、臭氧浓度传感器。
3.根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述紫外光光源系统（5）采用一组具有特定波长的紫外光灯管，与被处理样品传送方向平行或者垂直排列而形成一个面光源。
4.根据权利要求3所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述紫外光灯管上方装有反射板，在反射板上方设有冷却系统。
5.根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述真空系统采用两个真空泵，一个真空泵连接工艺腔（3），一个真空泵连接预热腔（2）和冷却腔（4）。
6.根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述上下料传送系统包括五组传送机构，一组位于进料口（8）处，一组位于出料口（9）处，预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）内各设有一组；每组传送机构均采用链轮和链条带动滚轴的传动方式，每根滚轴上安置多个小滚球，使小滚球仅与被处理样品两侧的边缘部分点接触。
7.根据权利要求1所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，所述加热系统为设置在预热腔（2）的上下料传送系统和工艺腔（3）的上下料传送系统下方的平板式陶瓷加热片。
8.根据权利要求2所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，还包括自动控制与检测系统，该自动控制与检测系统分别与所述真空传感器、温度传感器、臭氧浓度传感器通过信号线相连。
9.根据权利要求5所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，各真空泵与相应的工艺腔（3）、预热腔（2）和冷却腔（4）相连的管道上均相应地装有挡板阀（18,19,20）；与工艺腔（3）相连的真空泵与工艺腔（3）之间的连接管道上设有蝶阀（21）。
10.根据权利要求3或4所述的连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，其特征在于，相邻两根紫外光灯管间距为5mm~10mm，紫外光灯管与被处理样品之间的垂直距离为10mm~80mm。
11.一种如权利要求1-10之一所述连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：打开设备电源，做好设备运行前准备工作；
步骤2：打开进料口腔室门（10），将第一组样品通过上下料传送系统（1）送入预热腔（2），关闭进料口腔室门（10），对预热腔（2）进行预抽真空和并对样品进行预加热，同时对工艺腔（3）进行抽真空；
步骤3：当预热腔（2）和工艺腔（3）气压平衡时，打开预热腔（2）和工艺腔（3）之间的腔室门（11），将样品通过上下料传送系统（1）送入工艺腔（3），然后关闭预热腔（2）和工艺腔（3）之间的腔室门（11）；
步骤4：继续对工艺腔（3）抽真空，待抽真空结束后，向工艺腔（3）内充入氧气，开启紫外光光源系统，对样品表面进行清洗与氧化改性；
步骤5：在步骤4进行的同时，对预热腔（2）进行破真空处理，然后打开进料口腔室门（10），将下一组样品送入预热腔（2），进行预热和预抽真空，同时开始对冷却腔（4）抽真空；
步骤6：样品反应完成后，打开工艺腔（3）与冷却腔（4）之间的腔室门（12），通过上下料传送系统（1）将样品送入冷却腔（4）后，关闭腔室门（12），在冷却腔（4）内通入保护气体对样品进行冷却和破真空，完成后，打开出料口腔室门（13），将样品送出冷却腔（4），完成对该组样品的加工；
步骤7：将样品从工艺腔（3）送入冷却腔（4）后，再打开预热腔（2）和工艺腔（3）之间腔室门（11），将下一组样品送入工艺腔（3），然后关闭该腔室门（11），重复步骤4到步骤7；
步骤8：结束生产任务时，等待设备中样品加工完成后，关闭系统电源。
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