[发明专利]图案形成方法、光刻装置、光刻系统及物品制造方法

摘要

本发明提供一种图案形成方法、光刻装置、光刻系统及物品制造方法。该图案形成方法包括：第一步骤，形成第一图案以限定第一拍摄布置；以及第二步骤，进行压印处理，从而在所述第一图案上的压印材料上形成第二图案，并且限定第二拍摄布置。在所述第二步骤中，修正所述第二拍摄布置，以通过使所述模具变形来减小所述第一拍摄布置和所述第二拍摄布置的重叠误差。在所述第一步骤中，基于在通过使所述模具变形对所述模具上形成的所述第二图案进行修正之后进行所述第二步骤的情况下、所述基板上可限定的估计的所述第二拍摄布置的信息，形成所述第一图案，以使所述第一拍摄布置和所述第二拍摄布置的重叠误差在容许范围内。

主权项

1.一种在基板上形成图案的方法，所述方法包括：第一步骤，在所述基板上的多个第一拍摄区域中的各个中依次形成第一图案；以及然后第二步骤，针对所述基板上的多个第二拍摄区域中的各个，依次进行在使所述基板上的压印材料和模具彼此接触的同时使所述压印材料固化的压印处理，从而在所述基板上的所述压印材料上形成第二图案，其中，所述多个第二拍摄区域中的各个包括至少两个第一拍摄区域，在所述至少两个第一拍摄区域中的各个中，形成有所述第一图案，其中，在所述第二步骤中，在使所述模具变形的同时进行所述压印处理，并且其中，在所述第一步骤中，基于关于所述第二图案的估计形状的信息，在所述多个第一拍摄区域中的各个中依次形成所述第一图案，使得在所述第二步骤中，能够以使所述第一图案和所述第二图案的重叠误差在容许范围内的方式进行所述压印处理，其中所述第二图案是通过使所述模具变形而能够在所述基板上形成的。