[发明专利]一种波导及其制备方法在审
| 申请号： | 201410277027.5 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104076439A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 翟彦芬;张巍;黄翊东;彭江得 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种波导及其制备方法，所述方法包括：在衬底上制备一层低折射率层；在所述低折射率层上制备硫化物玻璃薄膜层，该硫化物玻璃薄膜层为光传输层；在所述光传输层上制备导引结构；其中，所述低折射率层的折射率小于所述光传输层的折射率，所述导引结构的折射率小于所述光传输层的折射率。通过本发明提供的一种波导及其制备方法，能够提高波导制备的可靠性和成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种波导制备方法，其特征在于，所述方法包括：在衬底上制备一层低折射率层；在所述低折射率层上制备硫化物玻璃薄膜层，该硫化物玻璃薄膜层为光传输层；在所述光传输层上制备导引结构；其中，所述低折射率层的折射率小于所述光传输层的折射率，所述导引结构的折射率小于所述光传输层的折射率。
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