[发明专利]空气主轴倾斜误差测量装置及测量方法

摘要

本发明提供了一种空气主轴倾斜误差测量装置及测量方法，包括底座、空气主轴支座、空气主轴、圆柱检棒、圆柱销、连接件、精密伺服转台、伺服转台支座，非接触位移传感器。圆柱检棒端面上设置有端面槽；连接件固定安装在精密伺服转台的回转体的端面上，圆柱销的一端固定在连接件的偏心孔内，一端插入圆柱检棒的端面槽内，非接触位移传感器的测头对准标准圆柱检棒，传感器支架固定在底座上。伺服转台与空气主轴回转轴线重合，本发明的有益效果在于测量时压缩空气驱动停止，由精密伺服转台带动空气主轴同轴同步回转，可以准确测量位移传感器读数与主轴回转角度位置的关系，从而精确测量主轴运动倾斜误差。

主权项

一种空气主轴倾斜误差测量装置，其特征在于，包括底座(1)、空气主轴支座(2)、空气主轴(3)、圆柱检棒(4)、圆柱销(5)、连接件(6)、精密伺服转台(7)、伺服转台支座(10)、非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)，所述空气主轴支座(2)固定在底座(1)上，空气主轴(3)固定在空气主轴支座(2)上，圆柱检棒(4)一端固定安装在空气主轴(3)的旋转轴上，圆柱检棒(4)另一端的端面上设置有端面槽；所述精密伺服转台(7)固定安装于伺服转台支座(10)上，伺服转台支座(10)固定在底座(1)上，连接件(6)固定安装在精密伺服转台(7)的回转体的端面上，连接件(6)的上端面开有偏心孔，圆柱销(5)的一端固定在连接件(6)的偏心孔内，圆柱销(5)的另一端插入圆柱检棒(4)的端面槽内，非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)通过支架固定在底座(1)上，非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)的测头对准圆柱检棒(4)；所述精密伺服转台(7)的回转轴线与空气主轴(3)的回转轴线重合，圆柱销(5)的外径与圆柱检棒(4)的端面槽为松的动配合，精密伺服转台(7)通过连接件(6)偏心孔内的圆柱销(5)带动圆柱检棒(4)及空气主轴(3)同轴回转；所述非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)采用高精度光纤位移传感器，也可以采用与空气主轴(3)及圆柱检棒(4)直径相适应的其他高精度非接触位移传感器。