[发明专利]空气主轴倾斜误差测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种空气主轴倾斜误差测量装置，其特征在于，包括底座(1)、空气主轴支座(2)、空气主轴(3)、圆柱检棒(4)、圆柱销(5)、连接件(6)、精密伺服转台(7)、伺服转台支座(10)、非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)，所述空气主轴支座(2)固定在底座(1)上，空气主轴(3)固定在空气主轴支座(2)上，圆柱检棒(4)一端固定安装在空气主轴(3)的旋转轴上，圆柱检棒(4)另一端的端面上设置有端面槽； 

所述精密伺服转台(7)固定安装于伺服转台支座(10)上，伺服转台支座(10)固定在底座(1)上，连接件(6)固定安装在精密伺服转台(7)的回转体的端面上，连接件(6)的上端面开有偏心孔，圆柱销(5)的一端固定在连接件(6)的偏心孔内，圆柱销(5)的另一端插入圆柱检棒(4)的端面槽内，非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)通过支架固定在底座(1)上，非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)的测头对准圆柱检棒(4)。 

2.根据权利要求1所述的空气主轴倾斜误差测量装置，其特征在于，所述精密伺服转台(7)的回转轴线与空气主轴(3)的回转轴线重合，圆柱销(5)的外径与圆柱检棒(4)的端面槽为松的动配合，精密伺服转台(7)通过连接件(6)偏心孔内的圆柱销(5)带动圆柱检棒(4)及空气主轴(3)同轴回转。 

3.根据权利要求1所述的空气主轴倾斜误差测量装置，其特征在于，非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)采用高精度光纤位移传感器，也可以采用与空气主轴(3)及圆柱检棒(4)直径相适应的其他高精度非接触位移传感器。 

4.一种利用上述空气主轴倾斜误差测量装置进行空气主轴倾斜误差测量方法，其特征在于，按照以下步骤具体实施： 

步骤1：首先调整精密伺服转台(7)与空气主轴(3)的回转轴线重合，将非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)的测头对准圆柱检棒(4)，调整时传感器支架固定在伺服转台(7)的回转体端面上，空气主轴(3)静止不动，伺服转台(7)从0度转180度，根据非接触位移传感器A(8)和B(9)的读数，调整伺服转台支座(10)在底座(1)上的安装位置及方向，反复调整直到伺服转台(7)转动过程中非接触位移传感器A(8)和B(9)的读数变化达到最小，即达到伺服转台(7)与空气主轴(3)回转轴线重合，调整完成后将传感器支架从伺服转台(7)的回转体端面上卸下； 

步骤2：将圆柱销(5)的一端插入并固定在连接件(6)的偏心孔内，将圆柱销(5)的另一端对准圆柱检棒(4)的端面槽，然后将连接件(6)移动到精密伺服转台(7)的回转体的端面中心并固定； 

步骤3：将非接触位移传感器A(8)和非接触位移传感器B(9)的支架固定在底座(1)上，精密伺服转台(7)回转并通过连接件(6)、圆柱销(5)带动与空气主轴(3)同步回转，即可进行空气主轴倾斜误差测量。