[发明专利]一种用于离子迁移谱的气体流量控制装置在审
| 申请号： | 201410274297.0 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN105204532A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 李东明;仓怀文;李海洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;H01J49/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明设计了一种用于离子迁移谱的气体流量控制装置，此装置主要包括：限流阀模块和差压式流量传感器模块。工作原理：离子迁移谱中载气和漂气气体流入限流阀模块，调节阀内孔径不同导致阀内气压不同，并通过差压式流量传感器模块采集气体压力数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 迁移 气体 流量 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种用于离子迁移谱的气体流量控制装置，包括：限流阀模块和差压式流量传感器模块；限流阀模块由限流阀和限流阀接头所构成；限流阀为一方形块状结构，于方形块上平行开设有二条贯通方形块左右二端面的通孔；二条通孔从左至右分为左侧圆孔、中部孔和右侧圆孔三部份，中部孔的有效直径小于左侧圆孔和右侧圆孔的直径；于二条通孔的中部孔和方形块上端面之间分别开设有的作为测量通道的上端通孔；于二条通孔的右侧圆孔和方形块上端面之间分别开设有的作为测量通道的上端通孔；限流阀接头为一内部带通孔的圆管，圆管的下部外表面设有外螺纹，上端通孔为带有内螺纹的孔，上端通孔内螺合有限流阀接头；差压式流量传感器模块主要由二个差压式流量传感器和测量管路构成；每个差压式流量传感器上的二个气体测量口均分别通过测量管路与安装于方形块同一通孔上的二个限流阀接头上端连接。
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