[发明专利]一种用于离子迁移谱的气体流量控制装置

权利要求书

1.一种用于离子迁移谱的气体流量控制装置，包括：限流阀模块和差压式流量传感器模块；

限流阀模块由限流阀和限流阀接头所构成；

限流阀为一方形块状结构，于方形块上平行开设有二条贯通方形块左右二端面的通孔；

二条通孔从左至右分为左侧圆孔、中部孔和右侧圆孔三部份，中部孔的有效直径小于左侧圆孔和右侧圆孔的直径；

于二条通孔的中部孔和方形块上端面之间分别开设有的作为测量通道的上端通孔；于二条通孔的右侧圆孔和方形块上端面之间分别开设有的作为测量通道的上端通孔；

限流阀接头为一内部带通孔的圆管，圆管的下部外表面设有外螺纹，上端通孔为带有内螺纹的孔，上端通孔内螺合有限流阀接头；

差压式流量传感器模块主要由二个差压式流量传感器和测量管路构成；

每个差压式流量传感器上的二个气体测量口均分别通过测量管路与安装于方形块同一通孔上的二个限流阀接头上端连接。

2.根据权利要求1所述的用于离子迁移谱的气体流量控制装置，其特征在于：

限流阀接头为一内部带通孔的圆管，圆管的上部外表面沿径向设有六边形凸起；测量管路一端套接在限流阀接头的上端圆型卡头。

3.根据权利要求2所述的用于离子迁移谱的气体流量控制装置，其特征在于：

测量管路一端套接在差压式流量传感器的一个圆型卡头上。

4.根据权利要求1所述的用于离子迁移谱的气体流量控制装置，其特征在于：

限流阀接头为一内部带通孔的圆管，圆管的上部外表面沿径向设有六边形凸起。

5.根据权利要求1所述的用于离子迁移谱的气体流量控制装置，其特征在于：

二条通孔的左右二端分别螺合有快接接头；一条通孔作为载气通道，另一条通孔作为漂气通道；载气部分与漂气部分分别为独立部分，互不连通。

6.根据权利要求5所述的用于离子迁移谱的气体流量控制装置，其特征在于：

二条通孔的左右二端分别带有内螺纹，二条通孔中，左端带有内螺纹的区域长度小于右端带有内螺纹的区域长度；右端为进气端，左端为出气端。

7.根据权利要求1所述的用于离子迁移谱的气体流量控制装置，其特征在于：测量管路为硅胶管、四氟管不锈钢管。