[发明专利]透射电镜微栅有效
| 申请号： | 201410269195.X | 申请日： | 2014-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN105185679B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 魏洋;林晓阳;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种透射电镜微栅，包括依次层叠设置的第一金属层、碳纳米管层及第二金属层，其中，所述碳纳米管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间，且通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合，所述第一金属层包括多个第一通孔，所述第二金属层包括多个第二通孔，所述多个第二通孔与所述多个第一通孔一一对应分布于所述碳纳米管层相对的两个表面。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电镜微栅 | ||
【主权项】：
一种透射电镜微栅，包括依次层叠设置的第一金属层、碳纳米管层及第二金属层，其特征在于，所述碳纳米管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间，所述碳纳米管层包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合，所述第一金属层具有多个第一通孔，所述第二金属层具有多个第二通孔，所述多个第二通孔与所述多个第一通孔一一对应分布于所述碳纳米管层相对的两个表面，且所述碳纳米管层相对的两个表面分别通过所述多个第一通孔和多个第二通孔部分暴露。
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