[发明专利]透射电镜微栅

权利要求书

1.一种透射电镜微栅，包括依次层叠设置的第一金属层、碳纳米管层及第二金属层，其特征在于，所述碳纳米管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间，所述碳纳米管层包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合，所述第一金属层具有多个第一通孔，所述第二金属层具有多个第二通孔，所述多个第二通孔与所述多个第一通孔一一对应分布于所述碳纳米管层相对的两个表面，且所述碳纳米管层相对的两个表面分别通过所述多个第一通孔和多个第二通孔部分暴露。

2.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管层为一自支撑结构，由所述多个碳纳米管组成，至少部分碳纳米管间隔设置形成多个微孔。

3.如权利要求2所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述第一金属层及第二金属层在第一通孔和第二通孔以外的位置穿过所述碳纳米管层的微孔相互融合形成一体结构。

4.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管层在对应所述第一通孔和第二通孔位置处悬空设置。

5.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述对应设置的一个第一通孔及一个第二通孔形成一个贯穿所述碳纳米管层的通道。

6.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管层为一自支撑结构，包括多层层叠且交叉设置的碳纳米管膜，所述多层碳纳米管膜之间通过范德华力结合，每一碳纳米管膜包括多个碳纳米管沿同一方向择优取向排列，相邻的碳纳米管膜中的碳纳米管之间具有一交叉角度α，且该α大于0度且小于等于90度。

7.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述第一金属层的厚度与所述第二金属层的厚度分别为1微米至15微米。

8.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管层部分被所述第一金属层和所述第二金属层夹持，部分悬空设置，所述碳纳米管层被夹持的部分的碳纳米管与所述第一金属层和所述第二金属层通过悬挂键键合。

9.一种透射电镜微栅，包括：一碳纳米管层，该碳纳米管层具有相对的两个表面，该碳纳米管层包括多个碳纳米管；一第一金属层和一第二金属层分别设置在该碳纳米管层相对的两个表面；其中，所述碳纳米管层部分位置被所述第一金属层和所述第二金属层夹持，部分位置通过所述第一金属层和第二金属层暴露在外，在夹持位置处，所述碳纳米管层中的碳纳米管通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合。

10.如权利要求9所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述第一金属层和第二金属层分别为连续的结构。

11.如权利要求9所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管层为一自支撑结构，至少部分碳纳米管间隔设置形成多个微孔，在夹持位置处，所述第一金属层及第二金属层穿过所述碳纳米管层的微孔相互融合形成一体结构。

12.如权利要求9所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述第一金属层具有多个第一通孔，所述第二金属层具有多个第二通孔，所述多个第二通孔与所述多个第一通孔一一对应分布于所述碳纳米管层相对的两个表面，使所述碳纳米管层部分暴露在外。