[发明专利]背照式图像传感器像素及图像传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种背照式图像传感器像素及图像传感器及其制作方法，包括置于半导体基体中的感光器件、置于背面的彩色滤光片和微透镜、置于正面绝缘介质中的金属互连线，正面设有曲面型镜面反光涂层。此反光涂层会将从感光器件透射出来的光全部反射回到感光器件，再此被感光器件吸收，从而提高了长波长光波红光的吸收效率，有效提高了背照式图像传感器红色像素的感光灵敏度。

主权项

一种背照式图像传感器像素，包括置于半导体基体中的感光器件、置于背面的彩色滤光片和微透镜、置于正面绝缘介质中的金属互连线，其特征在于，所述正面设有曲面型镜面反光涂层。