[发明专利]一种晶硅太阳能电池钝化材料Al2O3浓度梯度掺杂ZnO薄膜及制备方法

摘要

一种晶硅太阳能电池钝化材料Al₂O₃浓度梯度掺杂ZnO薄膜及制备方法，通过原子沉积在硅片表面进行Al₂O₃沉积以形成厚度为1nm～10nm的Al₂O₃层；然后继续在Al₂O₃层上进行n₁次的ZnO沉积，然后进行1次Al₂O₃沉积，完成一次Al₂O₃掺杂ZnO沉积；按照上述Al₂O₃掺杂ZnO沉积的方式重复沉积，其中当次ZnO沉积的次数比前一次ZnO沉积多沉积一次，以形成厚度为30nm~100nmAl₂O₃浓度梯度掺杂ZnO层；沉积结束后，取出硅片，进行退火，得到晶硅太阳能电池钝化薄膜。优点是：薄膜设计合理，制备过程容易操作，对晶硅太阳能电池具有优良的钝化效果，电池光电转化效率高。

主权项

1.一种晶硅太阳能电池钝化材料Al₂O₃浓度梯度掺杂ZnO薄膜，其特征是：在硅片上有一层厚度为1 nm～10 nm的Al₂O₃薄膜层，在Al₂O₃薄膜层有浓度梯度掺杂ZnO薄膜层，所述Al₂O₃浓度梯度掺杂ZnO薄膜层由Al元素、Zn元素、O元素组成，其中Al₂O₃浓度梯度掺杂ZnO薄膜层中Al₂O₃所占比例由下至上依次减小，其电阻率依次降低，Al元素的含量为0.1%～10%，厚度为30nm～100nm，电阻率为10Ω·cm～1 10^-5Ω·cm。