[发明专利]光纤氢气传感器及其制作方法

摘要

本发明提供一种光纤氢气传感器，所述光纤氢气传感器包括入射光纤、反射光纤和氢敏感膜；所述入射光纤的其中一端与所述反射光纤相互连接并且开设有氢气收容腔，所述反射光纤的端面覆盖所述氢气收容腔的开口，并作为反射端面；所述氢气收容腔的腔体的至少两个相对的侧壁分别形成有气孔，且所述至少两个相对的侧壁的气孔分别交错设置；所述氢敏感膜设置在所述氢气收容腔的内表面，并且所述氢敏感膜具有多个凹陷部，所述多个凹陷部分别与所述多个气孔相对设置。本发明还同时提供一种所述光纤氢气传感器的制作方法。

主权项

一种光纤氢气传感器的制作方法，用于制作如下所述的光纤氢气传感器，所述光纤氢气传感器包括入射光纤、反射光纤和氢敏感膜；所述入射光纤的两端分别作为光入射端和连接端，所述连接端与所述反射光纤相互连接并且开设有氢气收容腔，所述反射光纤的端面覆盖所述氢气收容腔的开口，并作为反射端面；所述氢气收容腔的腔体的至少两个相对的侧壁分别形成有气孔，且所述至少两个相对的侧壁的气孔分别交错设置；所述氢敏感膜设置在所述氢气收容腔的内表面，并且所述氢敏感膜具有多个凹陷部，所述多个凹陷部分别与所述多个气孔相对设置；其中，所述氢气收容腔为从所述入射光纤的连接端沿所述入射光纤的纤芯的延伸方向开设的微型腔体，所述入射光纤在所述微型腔体内部的纤芯被完全移除，且所述微型腔体的腔底形成半穿透半反射面；所述微型腔体连同所述半穿透半反射面和所述反射光纤的反射端面形成用来进行氢气浓度检测的法布里‑珀罗干涉腔；其特征在于，所述光纤氢气传感器的制作方法包括：提供入射光纤，并在所述入射光纤的末端形成微型腔体，来作为氢气收容腔；在所述微型腔体的侧壁内表面形成氢敏感膜；在所述微型腔体的其中一个侧壁形成第一气孔阵列，并在另一个侧壁形成第二气孔阵列，其中所述第二气孔阵列的气孔分别与所述第一气孔阵列的气孔交错设置，且所述气孔分别从所述入射光纤的外表面延伸到所述微型腔体内部；在所述微型腔体的内侧壁表面的氢敏感膜与所述第一气孔阵列和所述第二气孔阵列的气孔相正对的区域形成多个凹陷部；提供反射光纤，并将所述反射光纤与所述入射光纤的末端相互熔接。