[发明专利]光纤氢气传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种光纤氢气传感器，其特征在于，包括入射光纤、反射光纤和氢敏感膜；所述入射光纤的其中一端与所述反射光纤相互连接并且开设有氢气收容腔，所述反射光纤的端面覆盖所述氢气收容腔的开口，并作为反射端面；所述氢气收容腔的腔体的至少两个相对的侧壁分别形成有气孔，且所述至少两个相对的侧壁的气孔分别交错设置；所述氢敏感膜设置在所述氢气收容腔的内表面，并且所述氢敏感膜具有多个凹陷部，所述多个凹陷部分别与所述多个气孔相对设置。

2.如权利要求1所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述氢气收容腔为沿所述入射光纤的纤芯的延伸方向开设的腔体。

3.如权利要求2所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述氢气收容腔的内径大于所述入射光纤的纤芯的直径。

4.如权利要求3所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述氢敏感膜为钯膜或者钯合金膜。

5.如权利要求1所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述氢气收容腔的腔底设置有半穿透半反射膜。

6.如权利要求1所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述氢敏感膜的凹陷部为圆形凹陷部。

7.如权利要求1所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述入射光纤和所述反射光纤均为单模光纤。

8.如权利要求1所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述入射光纤为单模光纤，而所述反射光纤为多模光纤。

9.如权利要求1所述的光纤氢气传感器，其特征在于，所述入射光纤和所述反射光纤均为多模光纤。

10.一种光纤氢气传感器的制作方法，用于制作如权利要求1至9中任一项所述的光纤氢气传感器，其特征在于，包括：

提供入射光纤，并在所述入射光纤的末端形成微型腔体，来作为氢气收容腔；

在所述微型腔体的侧壁内表面形成氢敏感膜；

在所述微型腔体的其中一个侧壁形成第一气孔阵列，并在另一个侧壁形成第二气孔阵列，其中所述第二气孔阵列的气孔分别与所述第一气孔阵列的气孔交错设置，且所述气孔分别从所述入射光纤的外表面延伸到所述微型腔体内部；

在所述微型腔体的内侧壁表面的氢敏感膜与所述第一气孔阵列和所述第二气孔阵列的气孔相正对的区域形成多个凹陷部；

提供反射光纤，并将所述反射光纤与所述入射光纤的末端相互熔接。