[发明专利]声波装置

摘要

本发明提供了一种声波装置。该声波装置包括压电膜，其位于基板上；下电极和上电极，其隔着压电膜而彼此面对；温度补偿膜，其位于下电极和上电极中的至少一个的与压电膜相反的一侧的表面上，并且具有符号与压电膜的弹性常数温度系数相反的弹性常数温度系数；以及附加膜，其位于温度补偿膜的与压电膜相反的一侧的表面上，并且具有大于温度补偿膜的声学阻抗的声学阻抗。

主权项

一种声波装置，所述声波装置包括：压电膜，所述压电膜位于基板上；下电极和上电极，所述下电极和上电极隔着所述压电膜而彼此面对；温度补偿膜，所述温度补偿膜在所述下电极和所述上电极将所述压电膜夹在之间并且彼此面对的谐振区域中位于所述下电极和所述上电极中的至少一个的与所述压电膜相反的一侧的表面上，并且具有符号与所述压电膜的弹性常数温度系数相反的弹性常数温度系数；以及附加膜，所述附加膜在所述谐振区域中位于所述温度补偿膜的与所述压电膜相反的一侧的表面上，并且具有比所述温度补偿膜的声学阻抗大的声学阻抗，其中，所述温度补偿膜是绝缘膜，并且所述附加膜不与所述下电极和所述上电极中的所述至少一个接触，并且所述温度补偿膜和所述附加膜被布置为覆盖所述谐振区域。