[发明专利]LED外延层结构、生长方法及具有该结构的LED芯片有效
申请号: | 201410249647.8 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN103996769B | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 农明涛;杨云峰;朱耀强;项博媛 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00;H01L21/20 |
代理公司: | 长沙智嵘专利代理事务所43211 | 代理人: | 黄子平 |
地址: | 423038 湖南省郴*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种LED外延层结构、生长方法及具有该结构的LED芯片,LED外延层结构,包括依次叠置的多量子阱区和P型AlGaN层,还包括过渡层,过渡层设置于多量子阱区和P型AlGaN层之间,过渡层为AlInGaN层或AlGaN/InGaN超晶格结构。本发明提供的LED外延层结构中在P型‑AlGaN与多量子阱层之间增设AlInGaN或AlGaN/InGaN超晶格结构,能减少量子阱层与P‑AlGaN层的晶格失配,降低在P‑AlGaN层形成的位错和缺陷,有效阻止其他层中的Al或Mg向多量子阱区域扩散,从而提高LED芯片的发光效率4%。 | ||
搜索关键词: | led 外延 结构 生长 方法 具有 芯片 | ||
【主权项】:
一种LED外延层结构,包括多量子阱区和设置于所述多量子阱区顶面上的P型AlGaN层,其特征在于,还包括过渡层,所述过渡层设置于所述多量子阱区和所述P型AlGaN层之间,所述过渡层为AlInGaN层;所述AlInGaN层为AlyInxGa(1‑x‑y)N,其中,x=0.05~0.15,y=0.05~0.15,所述AlInGaN层厚度为6~18nm。
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