[发明专利]钛酸铋钠基和钛酸钡基多层复合压电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201410245430.X | 申请日： | 2014-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN104045340A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;李伟 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C04B35/468 | 分类号： | C04B35/468;C04B35/475;H01L41/187;H01L41/27 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钛酸铋钠基和钛酸钡基多层复合压电薄膜，其中钛酸铋钠基材料化学通式为Bi1/2Na1/2TiO3-xBaTiO3-ySrTiO3(BNT-BT-ST)，钛酸钡基材料化学通式为Ba(1-x)CaxTi(1-y)SnyO3(BCTS)，采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上旋转涂覆制备多层结构复合的无铅压电薄膜。与现有技术相比，本发明获得了高压电活性、低损耗、低漏导的高性能钛酸铋钠基与钛酸钡基多层复合无铅压电薄膜，在微执行器和驱动器领域具有很好的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸铋钠基 钛酸钡 基多 复合 压电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钛酸铋钠基和钛酸钡基多层复合压电薄膜，其特征在于，所述的多层复合压电薄膜由钛酸铋钠基薄膜和钛酸钡基薄膜交替叠加复合而成，其结构为具有异质结构循环周期的三明治式层状结构。
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