[发明专利]一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法有效
申请号: | 201410231250.6 | 申请日: | 2014-05-28 |
公开(公告)号: | CN104030274A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 陈志蓥;于广辉;张燕辉;隋妍萍;张浩然;张亚欠;汤春苗;朱博;李晓良 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法,其特征在于包括先在金属衬底和石墨烯的结合体上沉积一层金属,在金属上表面涂一层有机胶体,然后放到腐蚀液中,得到有机胶体、金属层和石墨烯层的结合体,再将三者的结合体转移到目标衬底上并去除有机胶体,将得到的金属和石墨烯的结合体再次放到腐蚀液中,待金属层被去除,即得到转移好的石墨烯。与传统的湿法腐蚀化学转移方法相比,本方法在旋涂有机胶体之前在石墨烯表面沉积一层金属,阻挡石墨烯和有机胶体的直接接触,有效地避免了转移后有机胶体在石墨烯表面的残留。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 石墨 表面 洁净 湿法 腐蚀 化学 转移 | ||
【主权项】:
一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法,包括:(1)先在金属催化衬底和石墨烯的结合体上沉积一层金属,在沉积金属层的上表面涂一层PMMA有机胶体,然后将所形成的有机胶体/表面沉积金属层/石墨烯/金属催化衬底结合体放到腐蚀液中,金属催化衬底完全腐蚀后得到有机胶体、表面沉积金属层和石墨烯的结合体,再将三者的结合体转移到目标衬底上并去除有机胶体;(2)将得到的金属和石墨烯的结合体再次放到腐蚀液中,待表面沉积金属层被去除,即得到转移好的石墨烯。
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