[发明专利]氧化物烧结体和其制造方法、靶及透明导电膜

摘要

本发明提供能够实现适合于蓝色LED及太阳能电池的透明导电膜的高速成膜和无结节成膜的溅射用靶、用于得到它的最佳氧化物烧结体及其制造方法。该氧化物烧结体是由铟和铈的氧化物构成，而且铈的含量以Ce/(In+Ce)原子数比计为0.3～9原子％，该氧化物烧结体以方铁锰矿型结构的In₂O₃相为主结晶相，作为第二相的萤石型结构的CeO₂相作为平均粒径3μm以下的结晶颗粒进行细微地分散，将由氧化铟粉末和氧化铈粉末构成的各个平均粒径为1.5μm以下的原料粉末进行混合，然后对混合粉末进行成形，并利用常压烧结法对成形物进行烧结，或者利用热压法对混合粉末进行成形并烧结。

主权项

一种氧化物烧结体，其由铟和铈的氧化物构成，并且，铈的含量以Ce/(In+Ce)原子数比计为0.3～9原子％，其特征在于，该氧化物烧结体以方铁锰矿型结构的In₂O₃相为主结晶相，作为第二相的萤石型结构的CeO₂相作为平均粒径3μm以下的结晶颗粒而进行细微地分散。