[发明专利]处理多晶硅尾气干法回收料的方法有效
| 申请号： | 201410217058.1 | 申请日： | 2014-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN104003399A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 赵雄;严大洲;姜利霞;万烨;杨永亮 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种处理多晶硅尾气干法回收料的方法，回收料含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，包括：(1)将回收料进行第一加热处理；(2)将经过第一加热处理的回收料进行第二加热处理；(3)将经过第二加热处理的回收料进行第一精馏处理，以便得到第一塔顶蒸汽和第一塔釜液；(4)将第一塔顶蒸汽进行第二精馏处理，以便得到液态轻组分和第二塔釜液；(5)将第一塔釜液作为热源进行第二加热处理，以便得到四氯化硅；以及(6)将第二塔釜液作为热源进行所述第一加热处理，以便得到三氯氢硅。该方法可以实现热量和冷量的最优综合利用，从而显著降低设备投资和能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 多晶 尾气 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种处理多晶硅尾气干法回收料的方法，所述回收料含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，其特征在于，包括：(1)将所述回收料进行第一加热处理，以便得到经过第一加热处理的回收料；(2)将步骤(1)得到的所述经过第一加热处理的回收料进行第二加热处理，以便得到经过第二加热处理的回收料；(3)将步骤(2)得到的所述经过第二加热处理的回收料进行第一精馏处理，以便得到第一塔顶蒸汽和第一塔釜液，所述第一塔釜液含有四氯化硅；(4)将步骤(3)得到的所述第一塔顶蒸汽进行第二精馏处理，以便得到液态轻组分和第二塔釜液，所述第二塔釜液含有三氯氢硅；(5)将步骤(3)得到的所述第一塔釜液作为热源在步骤(2)中进行所述第二加热处理，以便得到四氯化硅；以及(6)将步骤(4)得到的所述第二塔釜液作为热源在步骤(1)中进行所述第一加热处理，以便得到三氯氢硅。
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