[发明专利]处理多晶硅尾气干法回收料的方法

权利要求书

1.一种处理多晶硅尾气干法回收料的方法，所述回收料含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，其特征在于，包括：

(1)将所述回收料进行第一加热处理，以便得到经过第一加热处理的回收料；

(2)将步骤(1)得到的所述经过第一加热处理的回收料进行第二加热处理，以便得到经过第二加热处理的回收料；

(3)将步骤(2)得到的所述经过第二加热处理的回收料进行第一精馏处理，以便得到第一塔顶蒸汽和第一塔釜液，所述第一塔釜液含有四氯化硅；

(4)将步骤(3)得到的所述第一塔顶蒸汽进行第二精馏处理，以便得到液态轻组分和第二塔釜液，所述第二塔釜液含有三氯氢硅；

(5)将步骤(3)得到的所述第一塔釜液作为热源在步骤(2)中进行所述第二加热处理，以便得到四氯化硅；以及

(6)将步骤(4)得到的所述第二塔釜液作为热源在步骤(1)中进行所述第一加热处理，以便得到三氯氢硅。

2.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，进一步包括：

(7)在将步骤(3)得到的所述第一塔顶蒸汽进行第二精馏处理之前，将所述第一塔顶蒸汽作为热源在步骤(4)中进行所述第二精馏处理，以便得到塔顶蒸汽冷凝液，并将所述塔顶蒸汽冷凝液的一部分返回步骤(3)进行所述第一精馏处理，将所述蒸汽冷凝液的另一部分进行所述第二精馏处理。

3.根据权利要求2所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，在步骤(2)中，所述第二加热处理进一步包括：

(2-1)将步骤(1)得到的所述经过第一加热处理的回收料进行第三加热处理，以便得到经过第三加热处理的回收料；以及

(2-2)将步骤(2-1)得到的所述经过第三加热处理的回收料进行第四加热处理，以便得到所述经过第二加热处理的回收料。

4.根据权利要求3所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述第一精馏处理进一步包括：

(3-1)将步骤(2)得到的所述经过第二加热处理的回收料的一部分进行第三精馏处理，以便得到第三塔顶蒸汽和第三塔釜液；以及

(3-2)将步骤(2)得到的所述经过第二加热处理的回收料的另一部分进行第四精馏处理，以便得到第四塔顶蒸汽和第四塔釜液。

5.根据权利要求4所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，进一步包括，在步骤(7)中，将所述塔顶蒸汽冷凝液的第一部分返回进行所述第三精馏处理，将所述塔顶蒸汽冷凝液的第二部分返回进行所述第四精馏处理，将所述塔顶蒸汽冷凝液的第三部分进行所述第二精馏处理。

6.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，进一步包括：

(8)将步骤(4)得到的所述液态轻组分进行第一冷却处理，以便得到二氯二氢硅。

7.根据权利要求4所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，在步骤(5)中，进一步包括：

(5-1)将步骤(3-1)得到的所述第三塔釜液和步骤(3-2)得到的所述第四塔釜液的至少之一作为热源在步骤(2-2)中进行所述第四加热处理，以便得到第一降温的四氯化硅；

(5-2)将步骤(5-1)得到的所述第一降温的四氯化硅作为热源在步骤(2-3)中进行所述第三加热处理，以便得到第二降温的四氯化硅；以及

(5-3)将步骤(5-2)得到的所述第二降温的四氯化硅进行第二冷却处理，以便获得所述四氯化硅。

8.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，在步骤(6)中，进一步包括：

(6-1)将步骤(4)得到的所述第二塔釜液作为热源在步骤(1)中进行所述第一加热处理，以便得到降温的第二塔釜液；以及

(6-2)将步骤(6-1)得到的所述降温的第二塔釜液进行第三冷却处理，以便获得三氯氢硅。

9.根据权利要求1所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述第一加热处理是在25～40摄氏度的温度下进行的。

10.根据权利要求3所述的处理多晶硅尾气干法回收料的方法，其特征在于，在步骤(2-1)中，所述第三加热处理是在40～55摄氏度的温度和0.4～0.6MPa的压力下进行的。