[发明专利]三维轮廓取得装置、图案检测装置及三维轮廓取得方法

摘要

一种三维轮廓取得装置，具有光源(43)，其发出具有较宽频谱的光线；包含扫描部(55)与成像部(41)的干涉仪(42)，扫描部(55)构成为可沿着与被测定面(12ａ)交叉的方向进行扫描，扫描部(55)将来自光源(43)的光线分离成测定光束与参考光束，通过被测定面(12ａ)反射测定光束，通过参考镜(49)反射参考光束，使来自被测定面(12ａ)的第1反射光与来自参考镜(49)的第2反射光汇合，而产生干涉条纹；成像部(41)以干涉条纹的周期以上的曝光时间，拍摄基于第1反射光及第2反射光的影像的复数个图像；控制部(60)将扫描部(55)控制成沿着与被测定面(12ａ)交叉的方向进行扫描，且控制光源(43)以与干涉条纹的周期为相同的周期进行闪烁；以及，图像分析部(32)根据通过成像部(41)所成像的复数个图像，分别对图像的各个像素检测出在扫描部(55)的扫描方向上的干涉条纹的波峰位置，依据所检测出在各个像素的波峰位置产生三维轮廓。

主权项

一种三维轮廓取得装置，其特征在于，具有：光源，其所发出的光线具有较宽的频谱宽度；包含扫描部及成像部的干涉仪，其中，所述扫描部构成为可沿着与被测定面交叉的方向进行扫描，所述扫描部将来自所述光源的光线分离成测定光束与参考光束，通过所述被测定面反射所述测定光束，且通过参考镜反射所述参考光束，使来自所述被测定面的第1反射光与来自所述参考镜的第2反射光汇合，而可产生干涉条纹；所述成像部则是以所述干涉条纹的周期以上的曝光时间，拍摄基于所述第1反射光及所述第2反射光的影像的复数个图像；控制部，其控制所述扫描部沿着与被测定面交叉的方向进行扫描，且控制所述光源以与所述干涉条纹的周期相同的周期进行闪烁；以及，图像分析部，其依据所述成像部所生成的所述复数个图像，分别对图像的各个像素检测出在所述扫描部的扫描方向上的干涉条纹的波峰位置，依据所检测到的各个像素的波峰位置，产生三维轮廓。