[发明专利]三维轮廓取得装置、图案检测装置及三维轮廓取得方法

权利要求书

1.一种三维轮廓取得装置，其特征在于，具有：

光源，其所发出的光线具有较宽的频谱宽度；

包含扫描部及成像部的干涉仪，其中，所述扫描部构成为可沿着与被测定面交叉的方向进行扫描，所述扫描部将来自所述光源的光线分离成测定光束与参考光束，通过所述被测定面反射所述测定光束，且通过参考镜反射所述参考光束，使来自所述被测定面的第1反射光与来自所述参考镜的第2反射光汇合，而可产生干涉条纹；所述成像部则是以所述干涉条纹的周期以上的曝光时间，拍摄基于所述第1反射光及所述第2反射光的影像的复数个图像；

控制部，其控制所述扫描部沿着与被测定面交叉的方向进行扫描，且控制所述光源以与所述干涉条纹的周期相同的周期进行闪烁；以及，

图像分析部，其依据所述成像部所生成的所述复数个图像，分别对图像的各个像素检测出在所述扫描部的扫描方向上的干涉条纹的波峰位置，依据所检测到的各个像素的波峰位置，产生三维轮廓。

2.如权利要求1所述的三维轮廓取得装置，其中，所述控制部使所述扫描部沿着与被测定面交叉的方向进行往复动作，且使所述光源在所述扫描部进给时与返回时之间，错开所述光源闪烁的相位。

3.如权利要求1或2所述的三维轮廓取得装置，其中，

所述三维轮廓取得装置还具有光传感器，其接受朝向所述成像部的所述第1反射光和第2反射光的一部分，产生表示所述第1反射光和第2反射光的一部分的受光量的受光信号；

所述控制部基于所述光传感器的受光信号，使所述光源在与所述干涉条纹相同的相位下，进行闪烁。

4.如权利要求1或2所述的三维轮廓取得装置，其中，所述成像部的曝光时间设定为所述干涉条纹的发生期间的1/4～1/3范围内的值。

5.一种图案检测装置，具备图案检查部，其基于成像有配线基板的配线图案的图像，检查配线是否有缺陷，所述图案检测装置的特征在于，具备：

如权利要求1或2所述的三维轮廓取得装置；以及，

验证部，基于所述三维轮廓取得装置所产生的三维轮廓，验证由所述图案检查部检测到的所述缺陷的真伪。

6.一种三维轮廓取得方法，其特征在于，具备下述步骤：

干涉形成步骤，将干涉仪的扫描部沿着与被测定面交叉的方向进行扫描，且将由光源发出的具有较广频谱宽度的光线，分离成测定光束与参考光束，利用所述被测定面反射所述测定光束，利用参考镜反射所述参考光束，使来自所述被测定面的第1反射光与来自所述参考镜的第2反射光汇合、而产生干涉条纹；

发光控制步骤，使所述光源以与所述干涉条纹的周期相同的周期进行闪烁；

成像步骤，通过所述干涉仪的成像部，在所述干涉条纹的周期以上的曝光时间中，拍摄基于所述第1反射光及所述第2反射光的影像的复数个图像；以及，

轮廓生成步骤，依据通过所述成像部所生成的所述复数个图像，分别对图像的各个像素检测出在所述扫描部的扫描方向上的干涉条纹的波峰位置，依据检测到的各个像素的所述波峰位置，产生三维轮廓。