[发明专利]一种波导垂直方向半径渐变型的微腔交错复用的光子晶体传感器阵列结构

摘要

本发明涉及一种利用波导垂直方向半径渐变的光子晶体与四个微腔交错复用构成的传感器阵列的结构，属于光子晶体传感器技术领域。本发明首次将波导垂直方向半径渐变的光子晶体结构应用于传感器阵列结构的设计中，压缩了阵列结构的尺寸，为光子晶体传感器阵列的大规模集成提供了条件。本发明将波导垂直方向的空气孔半径从中间向两边渐变，在线缺陷波导两侧交错复用四个点缺陷微腔，在输出端的透射谱中可存在四个谐振下坠峰。每个微腔都具有高品质因数(～10⁴)和高透射率。同时每个微腔可以实现单独的传感功能且互不干扰。本发明中涉及的光子晶体传感器阵列结构具有可扩展性，并且可以同时检测多种分析物。

主权项

一种波导垂直方向半径渐变型的微腔交错复用的光子晶体传感器阵列结构。其中：该光子晶体传感器阵列结构是基于三维光子晶体的波导垂直方向空气孔半径渐变的三角晶格结构。空气孔的半径在波导垂直方向上由中间向两侧逐渐减小。在光子晶体中心线缺陷波导两侧交错引入四个微腔实现级联，通过向微腔周围的空气孔中注入分析物实现传感。