[发明专利]一种波导垂直方向半径渐变型的微腔交错复用的光子晶体传感器阵列结构

权利要求书

1.一种波导垂直方向半径渐变型的微腔交错复用的光子晶体传感器阵列结构。其中：该光子晶体传感器阵列结构是基于三维光子晶体的波导垂直方向空气孔半径渐变的三角晶格结构。空气孔的半径在波导垂直方向上由中间向两侧逐渐减小。在光子晶体中心线缺陷波导两侧交错引入四个微腔实现级联，通过向微腔周围的空气孔中注入分析物实现传感。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于利用波导垂直方向半径渐变型光子晶体实现传感器阵列的设计。本方案中采用半径渐变型结构，拓宽了可用工作频宽的范围，减小了带宽对微腔复用的限制。

3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于微腔具有较高的品质因数和透射率，交错微腔具有不同的谐振频率，在传感器阵列结构的设计中可以实现更多微腔的复用，实际应用中会避免传感探测可能存在的差错。

4.根据权利要求1,2,3所述的结构，其特征在于通过测量输出端透射谱中谐振峰的偏移量来完成对不同分析物的感知、检测和分析。实现同时检测多种分析物的功能，每个传感器在检测不同折射率的分析物时，均可完成无串扰的单独传感。