[发明专利]鳍式场效应管的形成方法

摘要

一种鳍式场效应管的形成方法，包括：提供衬底，衬底表面形成有若干分立的鳍部，且衬底表面形成有横跨鳍部的栅极结构；在栅极结构侧壁和上表面、鳍部侧壁和上表面以及衬底表面形成侧墙膜；采用各向异性刻蚀工艺回刻蚀侧墙膜，去除位于衬底表面、栅极结构上表面以及鳍部上表面的侧墙膜，在栅极结构侧壁形成第一侧墙，在鳍部侧壁形成第二侧墙；对第一侧墙进行掺杂处理，降低各向同性刻蚀工艺对第一侧墙的刻蚀速率；采用各向同性刻蚀工艺刻蚀去除第二侧墙，暴露出鳍部侧壁，保留位于栅极结构侧壁的第一侧墙；在第一侧墙两侧的鳍部内形成掺杂区；在鳍部侧壁和上表面形成金属接触层。本发明降低鳍式场效应管的接触电阻，提高鳍式场效应管的响应速度。

主权项

1.一种鳍式场效应管的形成方法，其特征在于，包括提供衬底，所述衬底表面形成有若干分立的鳍部，且所述衬底表面形成有横跨鳍部的栅极结构；在所述栅极结构侧壁和上表面、鳍部侧壁和上表面以及衬底表面形成侧墙膜；采用各向异性刻蚀工艺回刻蚀所述侧墙膜，去除位于衬底表面、栅极结构上表面以及鳍部上表面的侧墙膜，在栅极结构侧壁形成第一侧墙，在鳍部侧壁形成第二侧墙；对所述第一侧墙进行掺杂处理，降低各向同性刻蚀工艺对第一侧墙的刻蚀速率，采用离子注入工艺进行所述掺杂处理，且在对第一侧墙进行掺杂处理后，第一侧墙材料的相对介电常数降低；采用各向同性刻蚀工艺刻蚀去除所述第二侧墙，暴露出鳍部侧壁，保留位于栅极结构侧壁的第一侧墙；在所述第一侧墙两侧的鳍部内形成掺杂区；在所述鳍部侧壁和上表面形成金属接触层。