[发明专利]离子光学部件及其制造方法

摘要

一种离子光学部件及其制造方法。该方法包括提供一个电隔离性基底并且将该基底的材料从其至少一个主表面机加工去除以形成一个第一电极子组件的特征。所形成的特征包括用于支持一个第一电极体的整合的一个第一表面和用于支持一个第二电极体的整合的一个第二表面。随后的电镀和掩模步骤导致在该第一表面上的一个第一电极体以及在该第二表面上的一个第二电极体的形成。一个桥接件在该电隔离性基底中一体地形成，以便将该第一电极体与该第二电极体电隔离。

主权项

一种制造离子光学部件的方法，包括：提供具有一个第一主表面和一个第二主表面的电隔离性基底，该第二主表面与该第一主表面是相对的并且基本上平行；通过PCB技术中使用的设定路径或铣销将该基底的材料从该第一主表面机加工去除以形成一个第一电极子组件的特征，这些特征包括用于支持一个第一电极体的整合的一个第一表面和用于支持一个第二电极体的整合的一个第二表面，该第一表面通过间隙分区段，并且该第二表面通过间隙分区段；并且将该第一电极子组件的第一表面和第二表面进行电镀和掩模以在该第一表面上形成该第一电极体并且在该第二表面上形成该第二电极体，该第一电极体与该第二电极体被电隔离，该第一电极体与该第二电极体是预对齐的，并且一条垂直于该第一电极体的线与一条垂直于该第二电极体的线在该基底之外相交,其中，所述离子光学部件具有隆起的离子运输路径。