[发明专利]离子光学部件及其制造方法

权利要求书

1.一种制造离子光学部件的方法，包括：

提供具有一个第一主表面和一个第二主表面的电隔离性基底，该第二主表面与该第一主表面是相对的并且基本上平行；

通过PCB技术中使用的设定路径或铣销将该基底的材料从该第一主表面机加工去除以形成一个第一电极子组件的特征，这些特征包括用于支持一个第一电极体的整合的一个第一表面和用于支持一个第二电极体的整合的一个第二表面，该第一表面通过间隙分区段，并且该第二表面通过间隙分区段；并且

将该第一电极子组件的第一表面和第二表面进行电镀和掩模以在该第一表面上形成该第一电极体并且在该第二表面上形成该第二电极体，该第一电极体与该第二电极体被电隔离，该第一电极体与该第二电极体是预对齐的，并且一条垂直于该第一电极体的线与一条垂直于该第二电极体的线在该基底之外相交,

其中，所述离子光学部件具有隆起的离子运输路径。

2.根据权利要求1所述的方法，该方法包括在该电镀和掩模之后进行另外的机加工以形成对齐特征。

3.根据权利要求2所述的方法，该方法包括将该第一电极子组件的对齐特征与一个互补的第二电极子组件的对齐特征对齐，以形成该离子光学部件的完整的电极结构。

4.根据权利要求3所述的方法，该方法包括使用一个安装环将该第一电极子组件相对于该第二电极子组件固定地紧固。

5.根据权利要求1所述的方法，其中该离子光学部件是一个多极杆离子导向器，并且其中该第一电极体和该第二电极体作为限定该多极杆离子导向器的至少两个极杆的伸长的电极体而形成。

6.根据权利要求5所述的方法，其中机加工包括将该基底的材料去除以形成将该第一表面与该第二表面分开的一个间隙，该间隙将该第一电极体与该第二电极体电隔离。

7.根据权利要求6所述的方法，其中机加工包括形成一个安置在该第一表面与该第二表面中间的桥接结构，该桥接结构桥接用于维持在该第一电极体与该第二电极体之间的预定对齐的间隙。

8.根据权利要求5所述的方法，其中机加工包括形成沿该第一表面和该第二表面中的每一个的长度的、处于隔开间隔的多个间隙，使得该第一表面和该第二表面中的每一个包括沿该第一表面和该第二表面中的对应表面的长度的方向上一个接一个安排的多个表面区段，其中在电镀和掩模之后，该多个表面区段中的每个表面区段支撑一个相对应的电极体区段。

9.根据权利要求5所述的方法，其中机加工这样进行，使得该第一表面和该第二表面各自在沿该第一电极子组件的长度的方向上延伸，并且使得在该第一表面与该第二表面之间的间距沿该第一电极子组件的长度是基本上恒定的。

10.根据权利要求1所述的方法，其中机加工包括将该基底的其他材料从该第一主表面机加工去除以形成一个离子进口透镜和一个离子出口透镜中的至少一个的特征。

11.一种制造离子光学部件的方法，包括：

提供具有一个第一主表面和一个第二主表面的电隔离性基底，该第二主表面与该第一主表面是相对的；

除了沿该基底的边缘之外，通过PCB技术中使用的设定路径或铣销将材料从该第一主表面并且从该第二主表面机加工去除，以形成一个电极支撑物，该电极支撑物具有一个既不平行于该第一主表面也不平行于该第二主表面的表面；

通过PCB技术中使用的设定路径或铣销将该基底的其他材料机加工去除以限定沿该电极支撑物的表面的、处于隔开间隔的多个间隙，以便限定多个表面区段，这些表面区段通过这些间隙彼此分开；并且

将该电极支撑物进行电镀和掩模以在每个表面区段上形成一个电极体并且形成在该多个表面区段的不同表面区段上形成的电极体之间进行连接的表面迹线，从而形成一个第一电极结构，形成在该多个表面区段的不同表面区段上的该电极体在该基底上相对于彼此是预对齐的，

其中，所述离子光学部件具有隆起的离子运输路径。

12.根据权利要求11所述的方法，该方法包括在形成一个在该基底内的并且邻近该第一电极结构的第二电极结构，其中该第一电极结构和该第二电极结构对应于该离子光学部件中的相邻电极结构。