[发明专利]一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法无效
| 申请号： | 201410197413.3 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103952769A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 吕菲;于妍;赵权;杨洪星;林健;刘春香;张伟才 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，该方法使用酸性腐蚀液对磷化铟切割片进行腐蚀，腐蚀过程分为两次，每次腐蚀时间为1min，每次腐蚀后放入去离子水中冲洗，两次腐蚀去除总量为2-3µm。酸性腐蚀液由硫酸、双氧水和表面活性剂混合而成，硫酸、双氧水和表面活性剂的体积比为（4-6）：（1-3）：（0.005-0.02）。本发明采用酸性化学腐蚀方式对磷化铟单晶切割片进行腐蚀处理，处理后的磷化铟单晶切割片有效地降低了翘曲度指标，且切割片表面光洁、均匀，满足了后续加工的要求。其处理工艺过程简单，可适用于磷化铟单晶加工的批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 磷化 铟单晶 切割 曲度 方法 | ||
【主权项】：
一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，其特征在于，该方法使用酸性腐蚀液对磷化铟切割片进行腐蚀，腐蚀过程分为两次，每次腐蚀时间为1min，每次腐蚀后放入去离子水中冲洗，两次腐蚀去除总量为2‑3µm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所，未经中国电子科技集团公司第四十六研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410197413.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：数据查询的方法、设备及系统
- 下一篇：一种酒类复合澄清剂
