[发明专利]一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法无效
| 申请号： | 201410197413.3 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103952769A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 吕菲;于妍;赵权;杨洪星;林健;刘春香;张伟才 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 磷化 铟单晶 切割 曲度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，其特征在于，该方法使用酸性腐蚀液对磷化铟切割片进行腐蚀，腐蚀过程分为两次，每次腐蚀时间为1min，每次腐蚀后放入去离子水中冲洗，两次腐蚀去除总量为2-3μm。
2.根据权利要求1所述的一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，其特征在于，所述酸性腐蚀液由硫酸、双氧水和表面活性剂混合而成，硫酸、双氧水和表面活性剂的体积比为（4-6）：（1-3）：（0.005-0.02）。
3.根据权利要求2所述的一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，其特征在于，所述硫酸、双氧水和表面活性剂的优选体积比为5：2：0.01。
4.根据权利要求2或权利要求3所述的一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，其特征在于，所述表面活性剂选择NCW1002表面活性剂。
5.根据权利要求1、权利要求2或权利要求3所述的一种改善磷化铟单晶切割片翘曲度的方法，其特征在于，所述酸性腐蚀液的温度为70-73℃。
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